[发明专利]传感器元件在审
| 申请号： | 202011059500.4 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN112649140A | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 东条博史;米田雅之;德田智久;津岛鲇美;木田希 | 申请（专利权）人： | 阿自倍尔株式会社 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L13/02;G01L13/06;G01L19/04 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够同时测量多个压力的传感器元件。传感器元件(1)具备：膜片(32、33)，其通过受到压力而分别位移；以及多个压力导入通路(由贯通孔(21、37)、槽(42)及凹陷部(40、41)构成的第1压力导入通路、由贯通孔(20)、槽(36)及凹陷部(30)构成的第2压力导入通路)，其向各个膜片(32、33)传递相同或不同的压力。多个压力导入通路的每一个都填满有能够传递压力的压力传递介质，并且从多个压力导入通路中的一部分或全部分别向膜片(32、33)施加压力。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 元件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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