[发明专利]传感器元件在审
| 申请号： | 202011059500.4 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN112649140A | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 东条博史;米田雅之;德田智久;津岛鲇美;木田希 | 申请（专利权）人： | 阿自倍尔株式会社 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L13/02;G01L13/06;G01L19/04 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 传感器 元件 | ||
1.一种传感器元件，其特征在于，具备：
多个膜片，其通过受到压力而分别位移；
多个压力导入通路，其向多个所述膜片的每一个传递相同或不同的压力；以及
多个检测电路，其分别输出与对应的所述膜片的位移相应的信号，
在所有多个所述压力导入通路中填满有能够传递压力的压力传递介质，
从多个所述压力导入通路中的一部分或全部分别向各个所述膜片施加压力。
2.根据权利要求1所述的传感器元件，其特征在于，
所述膜片分别通过受到绝对压力而位移，或者通过受到差压而位移。
3.根据权利要求2所述的传感器元件，其特征在于，
多个所述膜片包括通过受到绝对压力而位移的所述膜片、和通过受到差压而位移的所述膜片。
4.根据权利要求2所述的传感器元件，其特征在于，
所有的所述膜片都通过受到绝对压力而位移,或者通过受到差压而位移。
5.根据权利要求1或2所述的传感器元件，其特征在于，
所述检测电路分别输出与受到绝对压力的所述膜片的位移相应的信号，或者输出与受到差压的所述膜片的位移相应的信号。
6.根据权利要求5所述的传感器元件，其特征在于，
多个所述检测电路包括：输出与受到绝对压力的所述膜片的位移相应的信号的所述检测电路，以及输出与受到差压的所述膜片的位移相应的信号的所述检测电路。
7.根据权利要求5所述的传感器元件，其特征在于，
所有的所述检测电路都输出与受到绝对压力的所述膜片的位移相应的信号，或者输出与受到差压的所述膜片的位移相应的信号。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的传感器元件，其特征在于，
多个所述膜片包括尺寸不同的所述膜片。
9.根据权利要求1～7中任一项所述的传感器元件，其特征在于，
所有的所述膜片的尺寸都相同。
10.根据权利要求1～9中任一项所述的传感器元件，其特征在于，
所述压力导入通路以及所述膜片由硅形成。
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