[发明专利]传感器元件

说明书

本发明提供一种能够同时测量多个压力的传感器元件。传感器元件(1)具备：膜片(32、33)，其通过受到压力而分别位移；以及多个压力导入通路(由贯通孔(21、37)、槽(42)及凹陷部(40、41)构成的第1压力导入通路、由贯通孔(20)、槽(36)及凹陷部(30)构成的第2压力导入通路)，其向各个膜片(32、33)传递相同或不同的压力。多个压力导入通路的每一个都填满有能够传递压力的压力传递介质，并且从多个压力导入通路中的一部分或全部分别向膜片(32、33)施加压力。

技术领域

本发明涉及一种传感器元件。

背景技术

以往，作为检测差压或者压力的压力传感器，已知有在作为感压部的半导体膜片上形成有压电电阻的半导体压阻式压力传感器(参考专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2015-512046号公报

发明内容

本发明要解决的问题

例如，在专利文献1中，记载了作为相对压力传感器或差压传感器发挥功能的微小机械测定元件。但是，即使使用专利文献1中记载的技术，也不能同时测量不同种或同种的多个压力。

本发明是为了解决上述问题而完成的，其目的在于提供一种能够同时测量多个压力的传感器元件。

用于解决问题的技术手段

本发明的传感器元件具备：多个膜片，其通过受到压力而分别位移；多个压力导入通路，其向多个所述膜片的每一个传递相同或不同的压力；以及多个检测电路，其分别输出与对应的所述膜片的位移相应的信号，在所有多个所述压力导入通路中填满有能够传递压力的压力传递介质，从多个所述压力导入通路中的一部分或全部分别向各个所述膜片施加压力。

另外，在本发明的传感器元件的一个构成例中，所述膜片分别通过受到绝对压力而位移，或者通过受到差压而位移。

另外，在本发明的传感器元件的一个构成例中，多个所述膜片包括通过受到绝对压力而位移的所述膜片、和通过受到差压而位移的所述膜片。

另外，在本发明的传感器元件的一个构成例中，所有的所述膜片都是通过受到绝对压力而位移，或者通过受到差压而位移。

另外，在本发明的传感器元件的一个构成例中，所述检测电路分别输出与受到绝对压力的所述膜片的位移相应的信号，或者输出与受到差压的所述膜片的位移相应的信号。

另外，在本发明的传感器元件的一个构成例中，多个所述检测电路包括输出与受到绝对压力的所述膜片的位移相应的信号的所述检测电路，以及输出与受到差压的所述膜片的位移相应的信号的所述检测电路。

另外，在本发明的传感器元件的一个构成例中，所有的所述检测电路都输出与受到绝对压力的所述膜片的位移相应的信号，或者输出与受到差压的所述膜片的位移相应的信号。

另外，在本发明的传感器元件的一个构成例中，多个所述膜片包括尺寸不同的所述膜片。

另外，在本发明的传感器元件的一个构成例中，所有的所述膜片的尺寸都相同。

另外，在本发明的传感器元件的一个构成例中，所述压力导入通路以及所述膜片由硅形成。

本发明的效果

根据本发明，能够同时测量多个压力。

附图说明

图1是本发明的第1实施例的传感器元件的俯视图。

图2是本发明的第1实施例的传感器元件的剖面图。

图3是本发明的第1实施例的传感器元件的剖面图。

图4是本发明的第2实施例的传感器元件的俯视图。

图5是本发明的第2实施例的传感器元件的剖面图。

图6是本发明的第2实施例的传感器元件的剖面图。

图7是本发明的第3实施例的传感器元件的俯视图。