[发明专利]一种晶圆蚀刻深孔残留物清理器在审
| 申请号： | 202011059387.X | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN112247788A | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 李萌 | 申请（专利权）人： | 李萌 |
| 主分类号： | B24B27/033 | 分类号： | B24B27/033;B24B55/06;B24B41/02;B24B41/06;H01L21/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300450 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆蚀刻深孔残留物清理器，其结构包括底座、升降机、操作台、旋转机、清理器，底座顶面与升降机底面焊接连接，操作台右侧与升降机左侧相叠合在一起，旋转机底面与升降机顶面活动卡合，清理器右侧与旋转机左侧活动卡合，清理器包括吸力机、收纳仓、连接块、插台，收纳仓顶面与吸力机底面固定连接，本发明在进行深孔残留物清理工作时，可以通过锁紧结构完全锁紧硬质管，避免硬质管在抽取过程中有松动等现象对深孔壁产生更严重的划痕，同时在伸入深孔抽取后，上提过程中会不断对孔壁进行摩擦使其恢复光滑，平复硬质管伸入后产生的由于摩擦而形成的创伤，减少对晶圆使用性能的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 残留物 清理 | ||
【主权项】：
暂无信息
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