[发明专利]翘曲检测方法有效
| 申请号： | 202011038861.0 | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN112325784B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 李杰;潘江帆;黄书娟 | 申请（专利权）人： | 广州立景创新科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京市立康律师事务所 11805 | 代理人： | 梁挥;孟超 |
| 地址： | 510663 广东省广州市广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种翘曲检测方法，通过翘曲检测设备检测待测物的表面。所述方法包含：驱动干涉组件与载台沿Z轴方向彼此相对移动，供实时输出对应于所述表面的多组干涉条纹，其中载台平面相对于水平面呈锐角；计算出多组干涉条纹的多个条纹对比度值，并找出所述干涉组件的初始Z轴位置；驱动所述干涉组件的干涉物镜自所述初始Z轴位置沿Z轴方向移动，供实时输出对应于多个表面区域的所述多组干涉条纹；以及，获取所述干涉物镜的多个位移数据，据以计算出所述待测物的翘曲度数据。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 方法 | ||
【主权项】：
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