[发明专利]翘曲检测方法

权利要求书

1.一种翘曲检测方法，通过翘曲检测设备检测待测物的表面，所述表面具有不同高度的多个表面区域，所述翘曲检测设备包含干涉感测装置、演算装置及用于固持所述待测物的载台，所述干涉感测装置包含白光光源组件、分光元件、干涉组件及感光组件，该感光组件包含多个感测区域，其特征在于，所述翘曲检测方法包含：

驱动所述干涉组件与所述载台沿Z轴方向彼此相对移动，供所述感光组件输出各该感测区域所分别对应于所述多个表面的多组干涉条纹，其中所述Z轴方向垂直于水平面，所述载台具有载台平面，且所述载台平面相对于所述水平面呈锐角；

所述演算装置计算出所述多组干涉条纹的多个条纹对比度值，并找出所述干涉组件与各该感测区域内具有最大的所述条纹对比度值的所述干涉条纹相对应的初始Z轴位置；

驱动所述干涉组件的干涉物镜自所述初始Z轴位置沿所述Z轴方向移动，供所述感光组件输出对应于所述多个表面区域的所述多组干涉条纹；以及

所述演算装置获取所述干涉物镜与所述多个表面区域的多个零光程位置相对应的多个位移数据，据以计算出所述待测物的翘曲度数据。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，更包含：

所述翘曲检测设备通过旋转电机驱动所述载台平面相对于所述水平面旋转至所述锐角。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述载台平面与所述水平面间的所述锐角的范围为大于0度而小于或等于0.6度。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，于驱动所述干涉组件在所述Z轴方向上的多个Z轴位置间移动的步骤前，还包含：

设定对应于所述待测物的模块高度，并驱动所述干涉组件至对应于所述模块高度的预设位置。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，于驱动所述干涉组件在所述Z轴方向上的多个Z轴位置间移动的步骤前，还包含：

驱动所述干涉组件与所述载台沿所述Z轴方向彼此相对移动，供所述感光组件输出对应于所述载台平面的多组校正干涉条纹；

所述演算装置计算出所述多组校正干涉条纹的多个校正条纹对比度值，并找出所述干涉组件与具有最大的所述校正条纹对比度值的所述校正干涉条纹相对应的校正Z轴位置；

驱动所述干涉组件的干涉物镜自所述校正Z轴位置沿所述Z轴方向移动，供所述感光组件输出对应于多个载台平面区域的所述多组校正干涉条纹；以及

所述演算装置获取所述干涉物镜位于所述多个Z轴位置的多个位移数据并获取所述干涉物镜于所述多个载台平面区域的多个零光程校正位置相对应的多个校正位移数据，并依据所述多个位移数据与所述多个校正位移数据，计算出所述待测物的翘曲度数据。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，于驱动所述干涉组件与所述载台沿所述Z轴方向彼此相对移动的步骤前，还包含：

驱动所述干涉组件至对应于所述载台平面的校正高度位置。