[发明专利]蒸镀材料清除装置及蒸镀装置在审
| 申请号： | 202011022994.9 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN112159957A | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 卫勇勇 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 方晓燕 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀材料清除装置和蒸镀装置，所述蒸镀材料清除装置设置于蒸发源上方，所述蒸镀材料清除装置包括：导轨，设置于蒸发源出口的至少一侧；至少一个清除组件，设置于所述导轨上；驱动组件，用于驱动所述清除组件沿所述导轨运动，以清除所述蒸发源出口的蒸镀材料。与现有技术相比，本发明所述的蒸镀材料清除装置及蒸镀装置，能够及时清除阻塞在蒸发源出口的蒸镀材料，以提高蒸镀膜层的均一性，提高产品的质量和产品的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 材料 清除 装置 | ||
【主权项】：
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