[发明专利]蒸镀材料清除装置及蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀材料清除装置，其特征在于，所述蒸镀材料清除装置设置于蒸发源上方，所述蒸镀材料清除装置包括：

导轨，设置于蒸发源出口的至少一侧；

至少一个清除组件，设置于所述导轨上；

驱动组件，用于驱动所述清除组件沿所述导轨运动，以清除所述蒸发源出口的蒸镀材料。

2.根据权利要求1所述的蒸镀材料清除装置，其特征在于，所述导轨设置有两条，且两条所述导轨分别设置于所述蒸发源出口的相对的两侧，所述清除组件设置有两个，且两个所述清除组件分别位于两条所述导轨上。

3.根据权利要求2所述的蒸镀材料清除装置，其特征在于，所述清除组件包括本体部和与所述本体部固定连接的头部，所述本体部活动安装于所述导轨上，所述头部靠近所述蒸发源出口处。

4.根据权利要求3所述的蒸镀材料清除装置，其特征在于，所述头部包括远离所述蒸发源出口处的顶面、靠近所述蒸发源出口处的底面以及连接所述顶面和所述底面的侧面，所述侧面为斜面，且所述底面的尺寸大于所述顶面的尺寸。

5.根据权利要求4所述的蒸镀材料清除装置，其特征在于，所述侧面与所述清除组件的中轴线之间的夹角大于等于45°且小于90°。

6.根据权利要求1所述的蒸镀材料清除装置，其特征在于，所述驱动组件包括驱动马达，所述驱动马达有两个，且分别位于所述导轨的两端。

7.根据权利要求6所述的蒸镀材料清除装置，其特征在于，还包括传动组件，所述传动组件用于将所述驱动组件产生的驱动力传送给所述清除组件，以使所述清除组件按既定方向运动。

8.根据权利要求1所述的蒸镀材料清除装置，其特征在于，还包括落料槽，所述落料槽位于所述导轨的两端，以收集所述清除组件所清除的蒸发源出口的蒸镀材料。

9.根据权利要求1所述的蒸镀材料清除装置，其特征在于，所述清除组件还包括挡板，所述挡板位于所述清除组件的侧方和/或上方。

10.一种蒸镀装置，包括蒸镀腔体和位于所述蒸镀腔体中的蒸发源，所述蒸镀腔体上设置有蒸发源出口，其特征在于，还包括：权利要求1至9中任一项所述的蒸镀材料清除装置。