[发明专利]蒸镀材料清除装置及蒸镀装置

说明书

本发明公开了一种蒸镀材料清除装置和蒸镀装置，所述蒸镀材料清除装置设置于蒸发源上方，所述蒸镀材料清除装置包括：导轨，设置于蒸发源出口的至少一侧；至少一个清除组件，设置于所述导轨上；驱动组件，用于驱动所述清除组件沿所述导轨运动，以清除所述蒸发源出口的蒸镀材料。与现有技术相比，本发明所述的蒸镀材料清除装置及蒸镀装置，能够及时清除阻塞在蒸发源出口的蒸镀材料，以提高蒸镀膜层的均一性，提高产品的质量和产品的生产效率。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其是涉及一种蒸镀材料清除装置及蒸镀装置。

背景技术

一般的，显示装置的显示方式包括液晶显示(Liquid Crystal Display，LCD)和有机发光二极管显示(Organic Light-Emitting Diode，OLED)，有机发光二极管显示(OLED)与液晶显示(LCD)相比，具有轻薄、低功耗、高对比度、高色域以及柔性显示等优点，成为下一代显示器的发展趋势。有机发光二极管显示(OLED)包括有源矩阵有机发光二级管(Active Matrix Organic Light Emitting Diode，AMOLED)和无源矩阵有机发光二极管(Passive Matrix Organic Light Emitting Diode，PMOLED)。实现有机发光二极管显示显示时，使用低温多晶硅面板(Low Temperature Poly-silicon，LTPS)以及高精度金属掩膜板(Fine Metal Mask，FMM)的方式已初步成熟。

上述高精度金属掩膜板模式，是通过蒸镀方式将有机材料按照预定程序蒸镀到低温多晶硅面板上，利用高精度金属掩膜板上的图形形成红、绿、蓝器件。蒸镀是在真空腔体中，使用线性蒸镀坩埚进行蒸镀。

但是，在有机材料的蒸镀过程中，由于蒸镀出的有机材料为蓬松结构，很容易在蒸发源出口(蒸镀孔)部位集结，对蒸镀成膜的均一性产生严重影响。

因此，如何有效解决蒸镀材料在蒸发源出口处的堆积问题成为本领域亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明实施例提供一种蒸镀材料清除装置及蒸镀装置，旨在解决蒸镀材料在蒸发源出口处的堆积问题。

一方面，本发明实施例提供一种蒸镀材料清除装置，所述蒸镀材料清除装置设置于蒸发源上方，所述蒸镀材料清除装置包括：导轨，设置于蒸发源出口的至少一侧；至少一个清除组件，设置于所述导轨上；驱动组件，用于驱动所述清除组件沿所述导轨运动，以清除所述蒸发源出口的蒸镀材料。

根据本发明实施例的一个方面，所述导轨设置有两条，且两条所述导轨分别设置于所述蒸发源出口的相对的两侧，所述清除组件设置有两个，且两个所述清除组件分别位于两条所述导轨上。

根据本发明实施例的一个方面，所述清除组件包括本体部和与所述本体部固定连接的头部，所述本体部活动安装于所述导轨上，所述头部靠近所述蒸发源出口处。

根据本发明实施例的一个方面，所述头部包括远离所述蒸发源出口处的顶面、靠近所述蒸发源出口处的底面以及连接所述顶面和所述底面的侧面，所述侧面为斜面，且所述底面的尺寸大于所述顶面的尺寸。

根据本发明实施例的一个方面，所述侧面与所述清除组件的中轴线之间的夹角大于等于45°且小于90°。

根据本发明实施例的一个方面，所述驱动组件包括驱动马达，所述驱动马达有两个，且分别位于所述导轨的两端。

根据本发明实施例的一个方面，所述蒸镀材料清除装置还包括传动组件，所述传动组件用于将所述驱动组件产生的驱动力传送给所述清除组件，以使所述清除组件按既定方向运动。

根据本发明实施例的一个方面，所述蒸镀材料清除装置还包括落料槽，所述落料槽位于所述导轨的两端，以收集所述清除组件所清除的蒸发源出口的蒸镀材料。