[发明专利]薄膜沉积腔、多功能遮蔽盘以及多功能遮蔽盘的使用方法有效
| 申请号： | 202011000987.9 | 申请日： | 2020-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN112680710B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 郑文豪;陈彦羽;戴逸明 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本揭露提供一种薄膜沉积腔、多功能遮蔽盘以及多功能遮蔽盘的使用方法。该遮蔽盘包括该遮蔽盘的一个表面上的一灯装置、一DC/RF电力装置，及一气体管道。运用此组态能够简化腔的类型，而不需要诸如一除气腔、一预清洗腔、一CVD/PVD腔的各种特定专用腔。通过使用该多功能遮蔽盘，除气功能及预清洗功能提供于一单一腔内。因此，一分离除气腔及一预清洗腔不再被需要，且腔之间的总传送时间被减小或消除。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 沉积 多功能 遮蔽 以及 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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