[发明专利]晶圆测试系统及晶圆测试方法有效
| 申请号： | 202010999829.2 | 申请日： | 2020-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN112213621B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 朱本强 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479 | 代理人： | 高园园 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆测试系统及测试方法，该系统包括：依次连接的探针卡、ARM处理器及主控单元，探针卡具有至少两个接点；ARM处理器监控每个接点的测试状态信息，并将其传输至主控单元；同时接收主控单元的启停命令，以控制每个接点的开启、暂停或结束；主控单元根据测试状态信息获得启停命令；启停命令包括：控制已完成前一测试项的接点暂停，直至所有接点完成该前一测试项的测试，所有接点开启进行当前测试项；控制已完成当前测试项的接点暂停，直至所有接点完成当前测试项的测试，所有接点开启进行下一测试项；控制所有接点结束测试。通过不同接点间测试项的同步完成，保证不同接点在同一时间处于同一测试项，增强晶圆测试的精度，提高测试良率。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
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