[发明专利]高含钪量铝钪合金靶材及靶材前级材料制备方法在审
| 申请号： | 202010992890.4 | 申请日： | 2020-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN112063978A | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 陈力学 | 申请（专利权）人： | 长沙神弧离子镀膜有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;C22C1/02;C22B9/20;C22B9/22 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410329 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 高含钪量铝钪合金靶材及靶材前级材料制备方法，步骤包括（1）制取自耗熔炼的坯棒：将铝颗粒与块状钪混合后压坯，获得坯棒；该坯棒的密度是60%—70%，铝颗粒与块状钪的用量为坯棒合金化后合金中钪含量为30at%—45at%；（2）自耗熔炼：将坯棒置入自耗真空电弧熔炼炉进行自耗熔炼，获得粗坯；（3）电子轰击熔炼炉熔炼：将所述粗坯置入电子轰击熔炼炉进行熔炼，获得高钪铝钪合金靶材或粉末冶金制靶前级材料。本发明通过集成创新工艺，克服了现有技术工艺存在的诸多缺陷，利用各相关工艺的优点实现协同作用，可以制备出高品质的高钪铝钪合金靶材，或为粉末冶金法制备高钪铝钪合金靶材提供优质前级材料。 | ||
| 搜索关键词： | 高含钪量铝钪 合金 靶材前级 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
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