[发明专利]高含钪量铝钪合金靶材及靶材前级材料制备方法在审
| 申请号： | 202010992890.4 | 申请日： | 2020-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN112063978A | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 陈力学 | 申请（专利权）人： | 长沙神弧离子镀膜有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;C22C1/02;C22B9/20;C22B9/22 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410329 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高含钪量铝钪 合金 靶材前级 材料 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种高含钪量铝钪合金靶材的制备方法，其特征是，它的步骤是：
（1）制取自耗熔炼的坯棒：将铝颗粒与块状钪混合后压坯，获得坯棒；该坯棒的密度60%—70%，铝颗粒的粒径为5mm—10mm，块状钪为表面长度8mm—12mm、厚度1mm—3mm的块状体，铝颗粒与块状钪的用量为坯棒合金化后合金中钪含量为30at%—45at%；
（2）自耗熔炼：将坯棒置入自耗真空电弧熔炼炉进行自耗熔炼，获得粗坯；
（3）电子轰击熔炼炉熔炼：将所述粗坯置入电子轰击熔炼炉进行熔炼，获得高钪铝钪合金靶材。
2.根据权利要求1所述高含钪量铝钪合金靶材的制备方法，其特征是，步骤（2）的自耗熔炼采用50Kg熔炼量级的自耗真空电弧熔炼炉，熔炼炉工作电流1500A。
3.根据权利要求1或2所述高含钪量铝钪合金靶材的制备方法，其特征是，步骤（3）的电子轰击熔炼炉熔炼采用总功率300kw的电子轰击熔炼炉。
4.一种高含钪量铝钪合金靶材的前级材料制备方法，其特征是，
作为利用粉末冶金方法制备高钪铝钪合金靶材的前级材料采用权利要求1或2所述方法制得。
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