[发明专利]一种用于晶圆制造的玻璃粉填充装置及其使用方法

摘要

本发明公开了一种用于晶圆制造的玻璃粉填充装置及其使用方法，包括装置本体、填充机构、自动上料机构、自动下料机构，所述装置本体包括支撑腿、工作台、机架、第一电机、晶圆放置台，所述支撑腿上方通过螺栓连接有所述工作台，所述工作台顶部通过螺栓连接有所述机架，所述机架内侧设置有所述填充机构，所述工作台底部中央通过螺栓连接有所述第一电机，所述第一电机的输出端穿过所述工作台，且通过键连接有所述晶圆放置台，所述晶圆放置台底部外侧设置有回收机构。本发明刮平机构和被动搅拌机构以及升降杆的运转均是由填充气缸驱动，减小了不必要的驱动设备，使得整体结构更加的紧凑，有益于降低整体设备的体积。