[发明专利]一种化学气相多元沉积产物组分预测方法有效
| 申请号： | 202010988337.3 | 申请日： | 2020-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN112102897B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 关康;任海涛;曾庆丰;卢振亚;吴建青 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | G16C20/30 | 分类号： | G16C20/30;G16C20/70;G16C10/00;G06N3/08 |
| 代理公司： | 成都方圆聿联专利代理事务所(普通合伙) 51241 | 代理人： | 宋红宾 |
| 地址： | 510641 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学气相多元沉积产物组分预测方法，包括：步骤S1，根据工艺条件，计算配分函数：步骤S2，计算热熔和熵；步骤S3，根据平动、转动、振动及电子配分函数，计算标准生成焓和标准生成吉布斯自由能；步骤S4，根据化学平衡原理，即体系总吉布斯自由能最小的数学条件，获得所有产物的平衡产量分布；步骤S5，工艺条件、沉积固相和产率作为输入数据，利用BP算法建立训练模型。步骤S6，建立BP训练模型后，结合遗传算法，对计算出的结果进行分析，不断搜索出不同权重条件下的最高固相产量。本发明的优点是：建立可准确预测沉积理论产物组分的模型，实现多组分产量最大的优化目标，加快CVD工业生产研发效率和降低其生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 多元 沉积 产物 组分 预测 方法 | ||
【主权项】：
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