[发明专利]掩膜装置以及掩膜制造方法在审
| 申请号： | 202010959690.9 | 申请日： | 2018-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN112030103A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 浅野邦一;福居克幸;土桥美博 | 申请（专利权）人： | 株式会社饭沼GAUGE制作所 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 郁旦蓉 |
| 地址： | 日本国长野县茅野市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 【课题】提供一种掩膜制造装置以及使用该掩膜制造装置的掩膜制造方法，其能够制造出：掩膜图案开口部不会产生变形的，能够抑制掩膜图案开口部的纵方向与横方向之间出现尺寸偏差掩膜。【解决手段】本发明的掩膜制造装置20以及掩膜制造方法，具有：掩膜片保持部25，配置在掩膜开口部8中，并且具有磁吸盘53，能够在对掩模图案形成区域6的外侧边缘部2a进行磁吸附的吸附状态与非吸附状态之间进行切换；对准摄像头27，用于检测在每个掩膜片2上设置的多个对准孔7相对于玻璃母板26上设置的多个对准记号63的偏移量；粗动平台51以及细动平台52，移动掩膜片保持部25从而对偏移量进行补正；以及作为接合装置的焊接机器人28A、28B，将掩膜图案形成区域6的外侧边缘部2a与掩膜开口部8的外侧边缘部3a接合。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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