[发明专利]掩膜装置以及掩膜制造方法

权利要求书

1.一种掩膜制造装置，将多片掩膜片与掩膜框重叠后进行接合，所述多片掩膜片具有包含掩膜图案开口部的掩膜图案形成区域，并且由磁性金属形成，所述掩膜框具有在与所述掩膜图案形成区域相对应的位置上与所述掩膜图案形成区域宽度相同的，并且在数量上与所述掩膜片相同或更少的掩膜开口部，其特征在于,包括：

掩膜片保持部，配置在从平面看所述掩膜开口部的配置位置的内侧下方，并且具有磁吸盘，能够在对所述掩膜片进行磁吸附的吸附状态与非吸附状态之间进行切换；

板状且透明的玻璃母板，配置在所述掩膜片的配置位置的上方，并且设有多个对准记号；

对准摄像头，用于检测所述掩膜片上设置的多个对准孔相对于所述多个对准记号的偏移量；

对准平台，用于移动所述掩膜片保持部；以及

接合装置，将所述掩膜图案形成区域的外侧边缘部与所述掩膜开口部的外侧边缘部接合。

2.一种掩膜制造装置，将一片或多片掩膜片与掩膜框重叠后进行接合，所述一片或多片掩膜片具有包含掩膜图案开口部的掩膜图案形成区域，并且由磁性金属形成，所述掩膜框具有在与所述掩膜图案形成区域相对应的位置上与所述掩膜图案形成区域宽度相同的，并且在数量上与所述掩膜片相同或更少的掩膜开口部，其特征在于,包括：

掩膜片保持部，配置在从平面看所述掩膜开口部的配置位置的内侧下方，并且具有磁吸盘，能够在对所述掩膜片自身进行磁吸附的吸附状态与非吸附状态之间进行切换；

板状且透明的玻璃母板，配置在所述掩膜片的配置位置的上方，并且设有多个对准记号；

对准摄像头，用于检测所述掩膜片上设置的多个对准孔相对于所述多个对准记号的偏移量；

对准平台，用于移动所述掩膜片保持部；以及

接合装置，将所述掩膜图案形成区域的外侧边缘部与所述掩膜开口部的外侧边缘部接合。

3.根据权利要求1或2所述的掩膜制造装置，其特征在于：

其中，所述磁吸盘具有：具有在对所述掩膜片进行吸附时支撑所述掩膜片的基准面的非磁性材料的盖部；以及配置在该盖部的内侧并且可独立于所述盖部进行升降的第一磁铁，

在将所述第一磁铁从所述掩膜片的吸附状态切换为非吸附状态后，所述基准面离开所述掩膜片。

4.根据权利要求1或2所述的掩膜制造装置，其特征在于：

其中，所述掩膜片保持部具有：在将所述掩膜片接合在所述掩膜框上时，至少在所述接合装置的接合开始位置的附近对所述掩膜片进行吸附并使其与所述掩膜框紧密贴合的磁吸附单元。

5.根据权利要求1或2所述的掩膜制造装置，其特征在于：

其中，所述掩膜框具有与多个所述掩膜片的接合排列相对应设置的多个所述掩膜开口部，

所述对准平台具有：将所述掩膜片保持部从一个所述掩膜开口部的配置位置移动至另一个所述掩膜开口部的配置位置的粗动平台；以及根据所述偏移量对所述掩膜片相对于多个所述对准记号的偏移量进行补正的细动平台。

6.根据权利要求1或2所述的掩膜制造装置，其特征在于：

其中，在被所述掩膜片保持部的多个所述磁吸盘所包围的空间内，配置有用于在所述掩膜片保持部对所述掩膜片进行吸附时平坦地支撑所述掩膜片的支撑板。

7.根据权利要求6所述的掩膜制造装置，其特征在于：

其中，在所述支撑板的与所述掩膜片相反一侧的下方侧，具有可升降的第二磁铁。

8.根据权利要求1或2所述的掩膜制造装置，其特征在于：

其中，所述接合装置为具有安装有激光发射头的机械臂的焊接机器人，所述焊接机器人可沿导轨移动。

9.根据权利要求8所述的掩膜制造装置，其特征在于：

其中，所述焊接机器人被配置有多台。