[发明专利]一种石墨烯晶体结构质量评价方法在审
申请号: | 202010955753.3 | 申请日: | 2020-09-11 |
公开(公告)号: | CN112034008A | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 李雪松;青芳竹 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | G01N27/00 | 分类号: | G01N27/00 |
代理公司: | 北京正华智诚专利代理事务所(普通合伙) 11870 | 代理人: | 李林合 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种石墨烯晶体结构质量评价方法,本发明中的评价方法先对石墨烯薄膜进行掺杂,使其载流子浓度超过N;然后每隔1~5min对掺杂石墨烯薄膜进行一次范德堡‑霍尔测量,获得载流子浓度随时间的变化规律以及载流子迁移率与载流子浓度的关系,并绘制成曲线图;再从曲线图上找到载流子浓度为N时对应的载流子迁移率,通过对比相同载流子浓度为N下的载流子迁移率,即可判断石墨烯晶体结构质量的好坏。采用本发明中的方法,可以测定某一确定载流子浓度下的载流子迁移率,从而对实际获得数值而不是根据经验公式推导的数值直接进行比较,使石墨烯晶体结构的质量评价更加准确可靠。 | ||
搜索关键词: | 一种 石墨 晶体结构 质量 评价 方法 | ||
【主权项】:
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