[发明专利]一种石墨烯晶体结构质量评价方法在审
| 申请号： | 202010955753.3 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN112034008A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 李雪松;青芳竹 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 北京正华智诚专利代理事务所(普通合伙) 11870 | 代理人： | 李林合 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 晶体结构 质量 评价 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种石墨烯晶体结构质量评价方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1：对石墨烯薄膜进行掺杂，使其载流子浓度超过N；
S2：每隔1～5min对掺杂石墨烯薄膜进行一次范德堡-霍尔测量，获得载流子浓度随时间的变化规律以及载流子迁移率与载流子浓度的关系，并绘制成曲线图；
S3：从曲线图上找到载流子浓度为N时对应的载流子迁移率，通过对比相同载流子浓度为N下的载流子迁移率，即可判断石墨烯晶体结构质量的好坏。
2.根据权利要求1所述的石墨烯晶体结构质量评价方法，其特征在于，S1中石墨烯掺杂的方法为用化学试剂的蒸汽对石墨烯薄膜进行熏蒸，熏蒸时间为15～20min；所述化学试剂为浓度为0.025M的硝基甲烷、浓度为0.025M的硝酸-硝基甲烷、浓度为0.025M的AuCl3-硝基甲烷、浓度为0.025M的硫酸-硝基甲烷、浓度为0.025M的盐酸-硝基甲烷、浓度为80mM的HAuCl3水溶液、浓度为12M的硫酸或浓度为16M的盐酸或浓度为63wt％的硝酸。
3.根据权利要求1所述的石墨烯晶体结构质量评价方法，其特征在于：所述N为1×1013cm-2。
4.根据权利要求1所述的石墨烯晶体结构质量评价方法，其特征在于：S2中在对掺杂石墨烯薄膜进行范德堡-霍尔测量的整个过程中，掺杂石墨烯薄膜暴露于热环境或紫外光照环境中。
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