[发明专利]一种半导体封装件的电镀方法在审
申请号: | 202010948009.0 | 申请日: | 2020-09-10 |
公开(公告)号: | CN112342575A | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
发明(设计)人: | 黄晓波;许秀冬 | 申请(专利权)人: | 安徽龙芯微科技有限公司 |
主分类号: | C25D3/12 | 分类号: | C25D3/12;C25D7/00;C25D17/08;C25D21/10;C25D21/04;C25D5/48;H01L21/50 |
代理公司: | 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 | 代理人: | 刘生昕 |
地址: | 243000 安徽省马*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种半导体封装件的电镀方法,涉及半导体加工领域,打磨抛光,通过使用砂纸对封装件进行抛光打磨,清除封装件表面的灰尘和杂质;调配电镀液,将硫酸镍、次亚磷酸钠、乙酸钠、谷胺酸钠合和去离子水混合成电镀液,将电镀液的PH值调节至4~5;封装件夹持定位,将封装件安装电镀装置内的安装组件上,安装组件配合安装在轮转组件上,且给封装件连接上电极电源;通过设置轮转组件和安装组件,将封装件配合卡接在支撑板上,定位块配合卡接在安装板上的定位槽内,轮转电机旋转,带动轮转轴旋转,能够实现三组安装组件周期性循环,可以一侧电镀作业,一侧实现对封装件的上料和下料,周期性作业模式能够大大节省电镀作业的时间,提高电镀效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 封装 电镀 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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