[发明专利]一种半导体封装件的电镀方法在审

专利信息
申请号: 202010948009.0 申请日: 2020-09-10
公开(公告)号: CN112342575A 公开(公告)日: 2021-02-09
发明(设计)人: 黄晓波;许秀冬 申请(专利权)人: 安徽龙芯微科技有限公司
主分类号: C25D3/12 分类号: C25D3/12;C25D7/00;C25D17/08;C25D21/10;C25D21/04;C25D5/48;H01L21/50
代理公司: 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 代理人: 刘生昕
地址: 243000 安徽省马*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种半导体封装件的电镀方法,涉及半导体加工领域,打磨抛光,通过使用砂纸对封装件进行抛光打磨,清除封装件表面的灰尘和杂质;调配电镀液,将硫酸镍、次亚磷酸钠、乙酸钠、谷胺酸钠合和去离子水混合成电镀液,将电镀液的PH值调节至4~5;封装件夹持定位,将封装件安装电镀装置内的安装组件上,安装组件配合安装在轮转组件上,且给封装件连接上电极电源;通过设置轮转组件和安装组件,将封装件配合卡接在支撑板上,定位块配合卡接在安装板上的定位槽内,轮转电机旋转,带动轮转轴旋转,能够实现三组安装组件周期性循环,可以一侧电镀作业,一侧实现对封装件的上料和下料,周期性作业模式能够大大节省电镀作业的时间,提高电镀效率。
搜索关键词: 一种 半导体 封装 电镀 方法
【主权项】:
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