[发明专利]一种半导体封装件的电镀方法在审
申请号: | 202010948009.0 | 申请日: | 2020-09-10 |
公开(公告)号: | CN112342575A | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
发明(设计)人: | 黄晓波;许秀冬 | 申请(专利权)人: | 安徽龙芯微科技有限公司 |
主分类号: | C25D3/12 | 分类号: | C25D3/12;C25D7/00;C25D17/08;C25D21/10;C25D21/04;C25D5/48;H01L21/50 |
代理公司: | 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 | 代理人: | 刘生昕 |
地址: | 243000 安徽省马*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 封装 电镀 方法 | ||
1.一种半导体封装件的电镀方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1:打磨抛光,通过使用砂纸对封装件进行抛光打磨,清除封装件表面的灰尘和杂质;
S2:调配电镀液,将硫酸镍、次亚磷酸钠、乙酸钠、乳酸、谷胺酸钠合和去离子水混合成电镀液,将电镀液的PH值调节至4~5;
S3:封装件夹持定位,将封装件安装电镀装置内的安装组件(5)上,安装组件(5)配合安装在轮转组件(3)上,且给封装件连接上电极电源;
S4:浸入电镀,封装件在轮转组件(3)的旋转配合下,浸入到电镀槽(2)内,在完全浸没在电镀液内,给电镀槽(2)内的电镀液通电,配合实现电镀;
S5:烘干处理,在电镀后,能够在轮转组件(3)的配合下,能够将电镀后的封装件提升,在提升后,断电,通过鼓风机,吹出40~60℃的暖风,进行烘干;
S6:查漏,在烘干后,将电镀后的封装件取出,通过图像扫描设备对电镀后的封装件进行扫描成像,在成像后,通过对比,能够检查电镀是否存在遗漏,检查电镀的完整度;
S7:封装保存,在检查合格后,通过真空包装袋对应封装件进行封存。
2.根据权利要求1所述的半导体封装件的电镀方法,其特征在于,所述S3中电镀装置包括电镀箱(1)、电镀槽(2)、轮转组件(3)、连接支架(4)、安装组件(5)和废气收集组件(6),所述电镀箱(1)的内部开设有电镀槽(2),所述轮转组件(3)安装在电镀箱(1)上,所述安装组件(5)通过连接支架(4)配合安装在轮转组件(3)上,所述电镀箱(1)的一侧安装有废气收集装置(6);
所述轮转组件(3)包括轮转轴(31)和轮转电机(32),所述电镀箱(1)的一侧箱壁上设置有安装座,所述安装座上通过螺栓配合安装有轮转电机(32),所述轮转电机(32)的转轴上配合安装有轮转轴(31)。
3.根据权利要求2所述的半导体封装件的电镀方法,其特征在于,所述安装组件(5)包括支撑板(51)、限位槽(52)、滑杆(53)、挤压块(54)、挤压弹簧(55)、限位杆(56)、收缩弹簧(57)、旋钮(58)、定位块(59)和安装板(510),所述安装板(510)的内部开设有滑孔,所述滑杆(53)配合插接在滑孔内,所述滑杆(53)的顶端焊装有支撑板(51),所述支撑板(51)的顶侧面对称开设有限位槽(52),所述限位槽(52)的两侧槽壁之间架设有限位杆(56),所述限位杆(56)贯穿挤压块(54)的底部,所述限位杆(56)的外侧套装有挤压弹簧(55),所述滑杆(53)的底端开设有定位孔,所述旋钮(58)的顶端配合插接在定位孔内,所述旋钮(58)的顶端与定位孔的孔壁之间固接有收缩弹簧(57),所述定位块(59)套装在旋钮(58)的外侧。
4.根据权利要求3所述的半导体封装件的电镀方法,其特征在于,所述安装板(510)的底侧开设有定位槽,所述定位块(59)配合卡接在定位槽内。
5.根据权利要求2所述的半导体封装件的电镀方法,其特征在于,所述轮转轴(31)的圆周面上呈环形矩阵列焊装有三个连接支架(4),所述连接支架(4)上通过焊接固定有安装板(510)。
6.根据权利要求2所述的半导体封装件的电镀方法,其特征在于,所述废气收集组件(6)包括旋转盘(61)、气罩(62)、冲压电机(63)、蠕动泵(64)、联动杆(65)、活塞(66)、冲压气缸(67)、储气罐(68)、气压表(69)和加压气缸(610),所述冲压气缸(67)焊装在电镀箱(1)的一侧,所述冲压气缸(67)的顶部通过螺栓配合安装有冲压电机(63),所述冲压电机(63)的转轴上配合安装有旋转盘(61),所述冲压气缸(67)的内部安装有活塞(66),所述活塞(66)的顶端铰接有联动杆(65),所述联动杆(65)的顶端通过销钉配合安装在旋转盘(61)的偏心位置,所述冲压气缸(67)的一侧焊装有储气罐(68),所述储气罐(68)的顶部通过螺栓配合安装有蠕动泵(64),所述气罩(62)架设在电镀箱(1)的顶部,所述蠕动泵(64)的进气端和排气端分别通过导管与气罩(62)和储气罐(68)连通。
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