[发明专利]一种半导体封装件的电镀方法在审
申请号: | 202010948009.0 | 申请日: | 2020-09-10 |
公开(公告)号: | CN112342575A | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
发明(设计)人: | 黄晓波;许秀冬 | 申请(专利权)人: | 安徽龙芯微科技有限公司 |
主分类号: | C25D3/12 | 分类号: | C25D3/12;C25D7/00;C25D17/08;C25D21/10;C25D21/04;C25D5/48;H01L21/50 |
代理公司: | 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 | 代理人: | 刘生昕 |
地址: | 243000 安徽省马*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 封装 电镀 方法 | ||
本发明公开了一种半导体封装件的电镀方法,涉及半导体加工领域,打磨抛光,通过使用砂纸对封装件进行抛光打磨,清除封装件表面的灰尘和杂质;调配电镀液,将硫酸镍、次亚磷酸钠、乙酸钠、谷胺酸钠合和去离子水混合成电镀液,将电镀液的PH值调节至4~5;封装件夹持定位,将封装件安装电镀装置内的安装组件上,安装组件配合安装在轮转组件上,且给封装件连接上电极电源;通过设置轮转组件和安装组件,将封装件配合卡接在支撑板上,定位块配合卡接在安装板上的定位槽内,轮转电机旋转,带动轮转轴旋转,能够实现三组安装组件周期性循环,可以一侧电镀作业,一侧实现对封装件的上料和下料,周期性作业模式能够大大节省电镀作业的时间,提高电镀效率。
技术领域
本发明涉及半导体加工领域,具体为一种半导体封装件的电镀方法。
背景技术
半导体,指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用,如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制,范围可从绝缘体至导体之间的材料。无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的;
在半导体封装时,需要使用电镀后的封装件进行封装,电镀时,一般通过单程的电镀方法进行电镀,由于电镀时间较长,整个电镀流程较长,电镀的效率较低,影响生产效率,在电镀时,由于电镀液为酸性液,容易挥发产生废气,废气直接排放,不仅危害操作人员的身心健康,还污染空气环境,不环保。
发明内容
本发明的目的在于提供一种半导体封装件的电镀方法,解决了一般通过单程的电镀方法进行电镀,由于电镀时间较长,整个电镀流程较长,电镀的效率较低,影响生产效率的技术问题。
本发明的目的可以通过以下技术方案实现:
一种半导体封装件的电镀方法,包括以下步骤:
S1:打磨抛光,通过使用砂纸对封装件进行抛光打磨,清除封装件表面的灰尘和杂质;
S2:调配电镀液,将硫酸镍、次亚磷酸钠、乙酸钠、乳酸、谷胺酸钠合和去离子水混合成电镀液,将电镀液的PH值调节至4~5;
S3:封装件夹持定位,将封装件安装电镀装置内的安装组件上,安装组件配合安装在轮转组件上,且给封装件连接上电极电源;
S4:浸入电镀,封装件在轮转组件的旋转配合下,浸入到电镀槽内,在完全浸没在电镀液内,给电镀槽内的电镀液通电,配合实现电镀;
S5:烘干处理,在电镀后,能够在轮转组件的配合下,能够将电镀后的封装件提升,在提升后,断电,通过鼓风机,吹出40~60℃的暖风,进行烘干;
S6:查漏,在烘干后,将电镀后的封装件取出,通过图像扫描设备对电镀后的封装件进行扫描成像,在成像后,通过对比,能够检查电镀是否存在遗漏,检查电镀的完整度;
S7:封装保存,在检查合格后,通过真空包装袋对应封装件进行封存。
作为本发明进一步的方案:所述S3中电镀装置包括电镀箱、电镀槽、轮转组件、连接支架、安装组件和废气收集组件,所述电镀箱的内部开设有电镀槽,所述轮转组件安装在电镀箱上,所述安装组件通过连接支架配合安装在轮转组件上,所述电镀箱的一侧安装有废气收集装置;
所述轮转组件包括轮转轴和轮转电机,所述电镀箱的一侧箱壁上设置有安装座,所述安装座上通过螺栓配合安装有轮转电机,所述轮转电机的转轴上配合安装有轮转轴。
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