[发明专利]一种高密度互连芯片结构在审
| 申请号: | 202010943436.X | 申请日: | 2020-09-09 |
| 公开(公告)号: | CN112201647A | 公开(公告)日: | 2021-01-08 |
| 发明(设计)人: | 周云 | 申请(专利权)人: | 苏州通富超威半导体有限公司 |
| 主分类号: | H01L25/07 | 分类号: | H01L25/07;H01L23/498;H01L23/538 |
| 代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 郭栋梁 |
| 地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本申请公开了一种高密度互连芯片结构,所述高密度互连芯片结构包括:芯片组件,所述芯片组件包括互连的功能芯片和连接芯片;及基板,所述功能芯片连接至所述基板的第一表面,所述第一表面设有凹槽,所述凹槽位于所述功能芯片在所述基板的投影区,所述凹槽容纳填充胶,所述填充胶的粘度随着温度升高而增大,所述连接芯片设置于所述凹槽内。本申请通过在凹槽设置填充胶,该填充胶的粘度随着温度升高而增大,填充胶能够支持连接芯片,使得连接芯片与功能芯片之间的间隙保持不变,第二焊点冷却至常温,第二焊点依旧能够连接连接芯片与功能芯片。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 高密度 互连 芯片 结构 | ||
【主权项】:
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