[发明专利]一种基于油磁性粒子分离技术的硅片贴片去除方法

摘要

本发明公开了一种基于油磁性粒子分离技术的硅片贴片去除方法，属于半导体硅片技术领域，本方案通过热浸泡液内的热量，可以促使油磁性热变导绳恢复至高温相态，同时借助磁性牵引球之间的相互远离，可以在弹性复位绳的复位作用下，迫使内置存储囊变形至圆球状，以此将其内的丙酮从释放圆孔中释放，一方面借助锥形分离片和油磁性热变导绳的移动和变形，可以有效的将贴片与半导体硅片分离，另一方面可以借助丙酮的释放，降低贴片与半导体硅片之间的粘性，同时借助油磁性热变导绳表面具有的亲水性，可以促使丙酮富集在其表面，并随着其运动可以促使丙酮均匀的分布在贴片和半导体硅片之间，以此提高对贴片的分离效率。