[发明专利]一种基于LIG的柔性电子器件的制造方法有效
申请号: | 202010910336.7 | 申请日: | 2020-09-02 |
公开(公告)号: | CN112015304B | 公开(公告)日: | 2021-06-15 |
发明(设计)人: | 谭化兵;潘智军 | 申请(专利权)人: | 安徽宇航派蒙健康科技股份有限公司 |
主分类号: | G06F3/041 | 分类号: | G06F3/041 |
代理公司: | 北京世衡知识产权代理事务所(普通合伙) 11686 | 代理人: | 肖淑芳;康颖 |
地址: | 230000 安徽省合肥市蜀山区湖*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于LIG的柔性电子器件的制造方法,重点在于步骤S200、在基材一面基于LIG技术制备石墨烯图像,作为感应层;在基材另一面基于LIG技术制备石墨烯图像,作为驱动层,LIG技术为短波长激光光源的激光诱导技术;感应层和驱动层同步制备,制备过程中包括设置在基材上的第一激光光源和第二激光光源,第一激光光源和第二激光光源的光线平行,第一激光光源和第二激光光源在前后方向上移动,基材在左右方向上移动,共同配合完成石墨烯制备图像的制备;本发明设计了使得单层基材薄膜在传送线带上依次完成各加工步骤,同时采用双面同步加工方法,能够保证加工效率,降低石墨烯柔性器件的制作成本,改变了石墨烯图形易破坏的结构,保护了石墨烯图形。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 lig 柔性 电子器件 制造 方法 | ||
【主权项】:
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