[发明专利]一种基于LIG的柔性电子器件的制造方法

权利要求书

1.一种基于LIG的柔性电子器件的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤S100、准备透明聚酰亚胺薄膜作为基材；

步骤S200、在所述基材一面基于LIG技术制备石墨烯图像，作为感应层；在所述基材另一面基于LIG技术制备石墨烯图像，作为驱动层，所述LIG技术为短波长激光光源的激光诱导技术；所述感应层和所述驱动层同步制备，制备过程中包括设置在所述基材上的第一激光光源和第二激光光源，所述第一激光光源和所述第二激光光源的光线平行，所述第一激光光源和所述第二激光光源在前后方向上移动，所述基材在左右方向上移动，共同配合完成石墨烯制备图像的制备；

步骤S300、在所述石墨烯图像上制备银纳米线膜层，用于增强石墨烯图像导电性；

步骤S400、在所述感应层和所述驱动层上制备固化层；

步骤S500、在所述固化层上贴合光学双面胶层；

步骤S600、在所述光学双面胶层上贴合透明聚酰亚胺薄膜材质的保护膜；

步骤S700、在另一面所述光学双面胶层上贴合显示器件，组成柔性电子器件；

所述激光诱导技术工作参数为：波长为200-500纳米，激光脉冲时间为500皮秒-500毫秒，激光功率密度100-5000kW/cm²。

2.根据权利要求1所述的基于LIG的柔性电子器件的制造方法，其特征在于，

所述步骤S200中所述短波长激光光源为散焦激光光源，所述基材表面涂布有透明阻燃剂层，用于加速无定型碳形成。

3.根据权利要求2所述的基于LIG的柔性电子器件的制造方法，其特征在于，

所述步骤S300中的银纳米线膜层基于针管毛刷装置制备，所述针管毛刷装置包括用于提供所述银纳米线油墨的供料针管和设置在针管头的锥形毛刷；还包括平面移动装置，用于驱动所述锥形毛刷在所述石墨烯图像表面上移动。

4.根据权利要求3所述的基于LIG的柔性电子器件的制造方法，其特征在于，

所述步骤S400中所述固化层采用狭缝涂布方式制备。

5.根据权利要求4所述的基于LIG的柔性电子器件的制造方法，其特征在于，

所述步骤S400中的固化层采用涂布/烘烤技术制备，制备过程包括：

步骤S410、涂布一层高分子保护层；

步骤S420、对保护层进行烘烤处理获得固化层。

6.根据权利要求5所述的基于LIG的柔性电子器件的制造方法，其特征在于，

所述光学双面胶层采用辊压方式同步完成所述感应层上光学双面胶层和所述驱动层上光学双面胶层的制备。

7.根据权利要求6所述的基于LIG的柔性电子器件的制造方法，其特征在于，

所述光学双面胶层厚度为10-30毫米。

8.根据权利要求7所述的基于LIG的柔性电子器件的制造方法，其特征在于，

所述保护层厚度范围为40-60毫米。

9.根据权利要求1～8任一项所述的基于LIG的柔性电子器件的制造方法，其特征在于，

所述基材设置在传送带上，依次经过所述步骤S200、所述步骤S300、所述步骤S400、所述步骤S500，制备成光学双面胶层/银纳米线膜层/感应层/基材/驱动层/银纳米线膜层/光学双面胶层的电子器件结构。

10.根据权利要求9所述的基于LIG的柔性电子器件的制造方法，其特征在于，还包括步骤S510，在所述步骤S500后，用于切断所述光学双面胶层。