[发明专利]镀敷方法、镀敷装置及阳极保持器在审
| 申请号： | 202010894757.5 | 申请日： | 2020-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN112553661A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 下村直树;长井瑞树 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D5/02 | 分类号： | C25D5/02;C25D7/12;C25D17/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 日本东京大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种在不改变极间距离的情况下使各种方型基板的面内均匀性提高的镀敷方法、镀敷装置及阳极保持器。某形态的镀敷方法是将保持方形形状的阳极(62)的阳极保持器(44)与保持方形形状的基板(W)的基板保持器(24)相向配置，对所述基板(W)实施镀敷处理的镀敷方法，所述镀敷方法中，阳极保持器(44)包括：保持器本体(80)，具有方形形状的开口部，使阳极(62)的面从开口部露出同时保持阳极(62)；以及遮罩(88)，在开口部的内侧遮蔽阳极(62)的一部分，且根据基板(W)变更利用遮罩(88)实现的遮蔽位置。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 装置 阳极 保持 | ||
【主权项】：
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