[发明专利]镀敷方法、镀敷装置及阳极保持器

权利要求书

1.一种镀敷方法，在镀敷槽中，将保持方形形状的阳极的阳极保持器与保持方形形状的基板的基板保持器相向配置，对所述基板实施镀敷处理，其中，

所述阳极保持器包括：

保持器本体，具有方形形状的开口部，使所述阳极的面从所述开口部露出同时保持所述阳极；以及

遮罩，在所述开口部的内侧遮蔽所述阳极的一部分，且

根据所述基板变更利用所述遮罩实现的遮蔽位置。

2.一种镀敷装置，用于对方形形状的基板实施镀敷处理，包括：

镀敷槽；

阳极保持器，保持方形形状的阳极，配置在所述镀敷槽；以及

基板保持器，保持所述基板，配置成在所述镀敷槽与所述阳极相向，且

所述阳极保持器包括：

保持器本体，具有方形形状的开口部，使所述阳极的面从所述开口部露出同时保持所述阳极；以及

遮罩，在所述开口部的内侧遮蔽所述阳极的一部分，且

所述镀敷装置包括驱动部，所述驱动部用于驱动所述遮罩，变更所述遮罩相对于所述开口部的位置。

3.一种阳极保持器，保持方形形状的阳极，包括：

保持器本体，具有方形形状的开口部，使所述阳极的面从所述开口部露出同时保持所述阳极；

遮罩，在比所述开口部的端部更靠内侧遮蔽所述阳极的一部分；以及

驱动部，驱动所述遮罩，变更所述遮罩相对于所述保持器本体的位置。

4.一种镀敷装置，用于对方形形状的基板实施镀敷处理，包括：

镀敷槽；

阳极保持器，保持方形形状的阳极，配置在所述镀敷槽；以及

基板保持器，保持所述基板，配置成在所述镀敷槽与所述阳极相向，且

所述阳极保持器包括：

保持器本体，具有方形形状的开口部，使所述阳极的面从所述开口部露出同时保持所述阳极；以及

遮罩，在所述开口部的内侧遮蔽所述阳极的一部分，

所述基板保持器包括接点，所述接点沿着所述基板的边设置，且向所述基板供给电流，

所述遮罩与并列设置有所述接点的所述基板的边即供电边平行地延伸，不与并非所述供电边的所述基板的边平行地延伸。

5.根据权利要求4所述的镀敷装置，其中

作为所述供电边，包括并列设置在所述基板的一对平行的边的其中一个的第一供电边及并列设置在另一个的第二供电边，

所述遮罩包括与所述第一供电边及所述第二供电边平行的第一遮蔽部及第二遮蔽部。

6.根据权利要求5所述的镀敷装置，其中

所述第一遮蔽部与所述第二遮蔽部配置在相对于与所述第一供电边及所述第二供电边平行的所述基板的中心线对称的位置。