[发明专利]一种全自动PL检测装置

摘要

本发明公开了一种全自动PL检测装置，涉及PL检测技术领域。包括上料机构、硅片传输轨道、检测机构、不良片剔除机构、不良片传输机构、合格片下料机构等部分组成。采用工件篮作为承载硅片的载具，避免了人手对硅片造成的脏污和硅片之间摩擦导致的产品缺陷。硅片采用步进式传送，可实现快速准确的检测。PL测试图像采用图像分析软件自动判断缺陷类型，避免了人工分选的主观判断失误，可实现测试的标准化。测试不良片传送至专门的不良品传送轨道，可收集到与电池片同样的工件篮中，不会对不良片造成二次污染，便于人工进行二次分选。不良片盒和合格片传送轨道上均安装有缓存机构，可减少因故障停机的时间。