[发明专利]一种全自动PL检测装置

权利要求书

1.一种全自动PL检测装置，其特征在于，包括上料机构、硅片传输轨道、检测机构、不良片剔除机构、不良片传输机构、合格片下料机构组成；

所述上料机构包括压篮气缸0，上料进篮轨道1，上料出篮轨道2，上料托盘3，上料升降模组4，上料伸缩模组5；

所述上料进篮轨道1和上料出篮轨道2设置在所述上料升降模组4的侧面，所述上料进篮轨道1设置在所述上料出篮轨道2的上方，所述上料托盘3设置在所述上料升降模组4上，所述上料托盘3的三个工作位置分别与上料进篮轨道1，上料出篮轨道2和上料伸缩模组5对应，所述上料伸缩模组5设置在所述上料升降模组4的另一个侧面；

所述伸缩模组5包括传感器501，直线导轨502，伸缩板503，电容传感器504，无杆气缸505，感应铁片506，硅片传送皮带507，传动轮508，传动带509，步进电机510；

所述无杆气缸505通过所述直线导轨502与所述伸缩板503，所述传感器501、所述硅片传送皮带507设置在所述伸缩板503上，所述传感器501、电容传感器504和感应铁片506分别用来监测伸缩板503的位置、硅片传送皮带507上是否有硅片以及硅片数量，所述步进电机510通过传动带带动硅片传送皮带507运行；

所述硅片传输轨道包括第一硅片传送轨道6和第二硅片传送轨道8；

所述硅片传输轨道6设置有多个传感器601和602，监测传输轨道上的硅片位置以及数量；

所述测试系统设置在所述第一硅片传送轨道6和第二硅片传送轨道8中间的上方；

所述测试系统包括一对激发光源701和704以及相机702，所述相机702设置在所述一对激发光源701和704中间；

所述合格片下料机构包括合格片下料进篮轨道22，合格片下料出篮轨道21，合格片下料托盘23，合格片下料升降模组20，合格片下料伸缩模组19；

所述不良片剔除机构包括不良片取片机构11与不良品传送机构；

所述不良片取片机构11包括可上下移动的伯努利吸盘以及伺服电机驱动的直线模组，所述吸盘安装在所述直线模组上。

所述不良片传送机构包括不良片下料伸缩模组14，不良片下料升降模组15，不良片下料出篮轨道16，不良片下料进篮轨道17，不良片下料托盘18。

所述不良片剔除机构设置在所述第二硅片传送轨道8的上方，所述所述不良品传送机构设置在所述第二硅片传送轨道8的侧面。

2.根据权利要求1所述的一种全自动PL检测装置，其特征在于，合格片及不良片传送轨道上设置有合格品缓存机构10和不良片缓存模组13。