[发明专利]一种超细球形钨粉及其制备方法在审
申请号: | 202010873524.7 | 申请日: | 2020-08-26 |
公开(公告)号: | CN112077330A | 公开(公告)日: | 2020-12-15 |
发明(设计)人: | 易伟;李安金;李继刚;姚陈思琦;蒋云波;何建云 | 申请(专利权)人: | 贵研铂业股份有限公司 |
主分类号: | B22F9/22 | 分类号: | B22F9/22;B22F1/00;C23C14/34 |
代理公司: | 昆明今威专利商标代理有限公司 53115 | 代理人: | 赛晓刚 |
地址: | 650000 云南省昆明市五华区高*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 本发明公开了一种超细球形钨粉及其制备方法,属于粉末冶金技术领域。本发明以粗钨酸铵为原料,采用化学精炼法制得球形钨粉,其方法包括离子交换、溶剂萃取、蒸发结晶、雾化造粒和微波煅烧,最后制得超细球形钨粉。本发明制得的超细球形钨粉纯度为大于99.995wt%以上,粒径为0.1~3μm,振实密度为5.1~6.3g/cm3,粉体流动性好。该钨粉可用于生产溅射靶材和半导体元器件,是大规模集成电路关键原材料,市场需求巨大,应用前景广阔。同时,该制粉工艺也可用于指导生产其他金属粉体。 | ||
搜索关键词: | 一种 球形 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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