[发明专利]一种半导体清洗设备中的喷淋装置和半导体清洗设备有效
| 申请号： | 202010871785.5 | 申请日： | 2020-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN112077067B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 马宏帅;王锐廷;张敬博;赵宏宇 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B9/02;B08B9/093;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体清洗设备中的喷淋装置，包括旋转轴、基座组件和喷淋管组件，旋转轴设置在基座组件中，且能够绕自身轴线旋转，旋转轴中开设有导流管路；基座组件固定设置在半导体清洗设备工艺腔室的顶部，用于容置旋转轴，还用于将清洗剂导入导流管路；喷淋管组件与旋转轴连接，且与导流管路连通；喷淋管组件包括至少一根驱动喷淋管，用于在喷淋清洗剂时，基于产生的反作用力，驱动喷淋管组件和旋转轴旋转。在本发明中，仅需向驱动喷淋管注入清洗剂，即可通过喷头的反向作用力驱动旋转轴自动旋转，对工艺腔室进行旋转喷淋清洗，结构简单、安全性高，且能够节省在喷淋装置中设置动密封件的维护成本。本发明还提供一种半导体清洗设备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 清洗 设备 中的 喷淋 装置 | ||
【主权项】：
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