[发明专利]一种晶圆抛光用抛光平台机构在审
| 申请号： | 202010853922.2 | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN111975605A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 罗永胜 | 申请（专利权）人： | 台州市老林装饰有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/04;B24B47/12;B24B57/02 |
| 代理公司： | 蓝天知识产权代理(浙江)有限公司 33229 | 代理人： | 王卫兵 |
| 地址： | 318050 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种晶圆抛光用抛光平台机构，包括机架，所述机架的顶板的中部通过轴承铰接有中心主轴，中心主轴的上部伸出机架的顶板的顶面并固定有旋转板，旋转板的顶面安装有抛光垫；所述旋转板的底面中部固定有下限位导向套。本发明可以保证将旋转板上的多余抛光液均接收到液体接料槽体中，保证抛光液不会外漏，效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 平台 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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