[发明专利]一种晶圆抛光用抛光平台机构

权利要求书

1.一种晶圆抛光用抛光平台机构，包括机架(10)，其特征在于：所述机架(10)的顶板的中部通过轴承铰接有中心主轴(11)，中心主轴(11)的上部伸出机架(10)的顶板的顶面并固定有旋转板(12)，旋转板(12)的顶面安装有抛光垫(13)；

所述旋转板(12)的底面中部固定有下限位导向套(14)；

所述机架(10)的顶板的顶面安装有液体接料槽体(20)，液体接料槽体(20)的底板的中部成型有中心通孔(21)，中心通孔(21)的边部处的液体接料槽体(20)的底板的顶面成型有环形套(22)，中心主轴(11)插套在中心通孔(21)和环形套(22)中，环形套(22)插套在下限位导向套(14)中；

所述液体接料槽体(20)的外侧边部的顶面成型有环形侧板(23)，旋转板(12)的外侧壁靠近环形侧板(23)的内侧壁。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆抛光用抛光平台机构，其特征在于：所述环形侧板(23)的顶面高于或等于旋转板(12)的顶面。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆抛光用抛光平台机构，其特征在于：所述旋转板(12)的外侧壁上插套有环形挡圈(15)，环形挡圈(15)的中部侧壁成型有多个液体流通通孔(151)，抛光垫(13)的侧壁紧贴环形挡圈(15)的内侧壁。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆抛光用抛光平台机构，其特征在于：所述液体接料槽体(20)的底板的边部成型有连接螺接通孔(24)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆抛光用抛光平台机构，其特征在于：所述连接螺接通孔(24)上螺接有堵头(241)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆抛光用抛光平台机构，其特征在于：所述液体接料槽体(20)的底板的顶面固定有导液垫(1)，环形套(22)插套在导液垫(1)的中心通孔中，环形套(22)的外侧壁紧贴中心通孔的内侧壁，导液垫(1)的顶面为锥形壁面。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆抛光用抛光平台机构，其特征在于：所述下限位导向套(14)的顶面与旋转板(12)的底面之间夹持有第一密封圈(2)。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆抛光用抛光平台机构，其特征在于：所述液体接料槽体(20)的底板的底面固定有多个定位块(3)，定位块(3)嵌套在机架(10)的顶板的顶面上成型有的安装凹槽(16)中。

9.根据权利要求1所述的一种晶圆抛光用抛光平台机构，其特征在于：所述环形侧板(23)的外侧壁上固定有弹性导向环(25)，弹性导向环(25)的顶部内侧壁成型有向内延伸的环形斜向部(26)，环形斜向部(26)的顶面高于抛光垫(13)的顶面。

10.根据权利要求1所述的一种晶圆抛光用抛光平台机构，其特征在于：所述机架(10)的下部固定有下水平固定板(17)，下水平固定板(17)的底面固定有驱动伺服电机(18)，驱动伺服电机(18)的输出轴穿过下水平固定板(17)的顶面并固定有驱动齿轮(181)，中心主轴(11)的底端伸出机架(10)的顶板的底面并固定有传动齿轮(19)，传动齿轮(19)与驱动齿轮(181)相啮合。