[发明专利]一种晶圆用三轴探针夹具在审
| 申请号： | 202010846685.7 | 申请日： | 2020-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN111735993A | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 刘世文;陈亮 | 申请（专利权）人： | 深圳市森美协尔科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R1/067 |
| 代理公司： | 深圳市徽正知识产权代理有限公司 44405 | 代理人： | 卢杏艳 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及三轴探针夹具技术领域，特指一种晶圆用三轴探针夹具，包括连接固定块与伸出杆，伸出杆第一端与连接固定块固定连接，伸出杆第二端固定有三轴线、信号线杆与探针，信号线杆第一端与三轴线固定连接，信号线杆第二端与探针固定连接，信号线杆通过夹紧装置夹紧于伸出杆第二端，三轴线的外层套设有防漏电装置。采用这样的结构设置，信号线杆第一端与三轴线固定连接，信号线杆第二端与探针固定连接，信号线杆通过夹紧装置夹紧于伸出杆第二端，三轴线的外层套设有防漏电装置。其能很好的用在探针台的点针操作上，能够取代其他的三轴探针夹具，适用于半导体测试设备上使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆用三轴 探针 夹具 | ||
【主权项】：
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