[发明专利]一种晶圆用三轴探针夹具

权利要求书

1.一种晶圆用三轴探针夹具，其特征在于：包括连接固定块（1）与伸出杆（2），所述伸出杆（2）第一端与连接固定块（1）固定连接，所述伸出杆（2）第二端固定有三轴线（3）、信号线杆（6）与探针（8），所述信号线杆（6）第一端与三轴线（3）固定连接，所述信号线杆（6）第二端与探针（8）固定连接，所述信号线杆（6）通过夹紧装置夹紧于伸出杆（2）第二端，所述三轴线（3）的外层套设有防漏电装置。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆用三轴探针夹具，其特征在于：所述伸出杆（2）第二端设有开口（20），所述夹紧装置包括锁紧套（9）与拉紧块（10），所述拉紧块（10）第一端设于开口（20）内，所述拉紧块（10）第二端外露于开口（20）设置，所述信号线杆（6）穿过拉紧块（10）与三轴线（3）固定连接，所述锁紧套（9）固定于伸出杆（2）第二端的端部，并将拉紧块（10）锁紧。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆用三轴探针夹具，其特征在于：所述伸出杆（2）第二端的端部外壁上设有外螺纹（21），所述锁紧套（9）的内壁上设有与外螺纹（21）配合螺纹连接的内螺纹。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆用三轴探针夹具，其特征在于：所述拉紧块（10）的外壁贴紧于伸出杆（2）第二端的开口（20）内壁，所述拉紧块（10）上设有便于信号线杆（6）穿过的穿孔（100）。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆用三轴探针夹具，其特征在于：所述防漏电装置包括一号铜管（4）、二号铜管（5）、一号铁氟龙管（11）、二号铁氟龙管（12）与三号铁氟龙管（13），所述二号铜管（5）套于三轴线（3）外部，所述一号铁氟龙管（11）套于二号铜管（5）外部，所述二号铁氟龙管（12）套于一号铁氟龙管（11）外部，所述三号铁氟龙管（13）套于二号铁氟龙管（12）外部，所述一号铜管（4）套于三号铁氟龙管（13）外部，并与三轴线（3）上设有的屏蔽层（31）焊接。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆用三轴探针夹具，其特征在于：所述信号线杆（6）第一端与三轴线（3）的信号线（30）固定焊接，所述信号线杆（6）第二端通过螺钉（7）与探针（8）固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆用三轴探针夹具，其特征在于：所述信号线杆（6）上设有探针（8）对应设置的通孔（60）以及与螺钉（7）对应设置的螺孔（61），所述螺孔（61）与通孔（60）垂直设置。