[发明专利]一种晶圆用三轴探针夹具

说明书

本发明涉及三轴探针夹具技术领域，特指一种晶圆用三轴探针夹具，包括连接固定块与伸出杆，伸出杆第一端与连接固定块固定连接，伸出杆第二端固定有三轴线、信号线杆与探针，信号线杆第一端与三轴线固定连接，信号线杆第二端与探针固定连接，信号线杆通过夹紧装置夹紧于伸出杆第二端，三轴线的外层套设有防漏电装置。采用这样的结构设置，信号线杆第一端与三轴线固定连接，信号线杆第二端与探针固定连接，信号线杆通过夹紧装置夹紧于伸出杆第二端，三轴线的外层套设有防漏电装置。其能很好的用在探针台的点针操作上，能够取代其他的三轴探针夹具，适用于半导体测试设备上使用。

技术领域

本发明涉及三轴探针夹具技术领域，特指一种晶圆用三轴探针夹具。

背景技术

现有的三轴探针夹具漏电精度差，一些探针夹具存在夹紧探针不紧，容易造成在点针时出现探针转动或者滑针的情况。

因此，有必要设计一款可以解决上述问题的三轴探针夹具。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种晶圆用三轴探针夹具，其能很好的用在探针台的点针操作上，能够取代其他的三轴探针夹具，适用于半导体测试设备上使用。

为了实现上述目的，本发明应用的技术方案如下：

一种晶圆用三轴探针夹具，包括连接固定块与伸出杆，伸出杆第一端与连接固定块固定连接，伸出杆第二端固定有三轴线、信号线杆与探针，信号线杆第一端与三轴线固定连接，信号线杆第二端与探针固定连接，信号线杆通过夹紧装置夹紧于伸出杆第二端，三轴线的外层套设有防漏电装置。

根据上述方案，所述伸出杆第二端设有开口，夹紧装置包括锁紧套与拉紧块，拉紧块第一端设于开口内，拉紧块第二端外露于开口设置，信号线杆穿过拉紧块与三轴线固定连接，锁紧套固定于伸出杆第二端的端部，并将拉紧块锁紧。

根据上述方案，所述伸出杆第二端的端部外壁上设有外螺纹，锁紧套的内壁上设有与外螺纹配合螺纹连接的内螺纹。

根据上述方案，所述拉紧块的外壁贴紧于伸出杆第二端的开口内壁，拉紧块上设有便于信号线杆穿过的穿孔。

根据上述方案，所述防漏电装置包括一号铜管、二号铜管、一号铁氟龙管、二号铁氟龙管与三号铁氟龙管，二号铜管套于三轴线外部，一号铁氟龙管套于二号铜管外部，二号铁氟龙管套于一号铁氟龙管外部，三号铁氟龙管套于二号铁氟龙管外部，一号铜管套于三号铁氟龙管外部，并与三轴线上设有的屏蔽层焊接。

根据上述方案，所述信号线杆第一端与三轴线的信号线固定焊接，信号线杆第二端通过螺钉与探针固定连接。

根据上述方案，所述信号线杆上设有探针对应设置的通孔以及与螺钉对应设置的螺孔，螺孔与通孔垂直设置。

本发明有益效果：

本发明采用这样的结构设置，信号线杆第一端与三轴线固定连接，信号线杆第二端与探针固定连接，信号线杆通过夹紧装置夹紧于伸出杆第二端，三轴线的外层套设有防漏电装置。其能很好的用在探针台的点针操作上，能够取代其他的三轴探针夹具，适用于半导体测试设备上使用。

附图说明

图1是本发明整体结构爆炸图；

图2是本发明整体结构剖视图；

图3是图2中A位置放大图；

图4是本发明夹紧装置装配图；

图5是本发明一号铜管与三轴线屏蔽层焊接图；

图6是本发明信号线杆结构图。