[发明专利]一种提高石墨舟处理效果的方法

摘要

本发明涉及石墨舟处理技术领域，且公开了一种提高石墨舟处理效果的方法，包括以下步骤：S1：拆卸：准备需要清洗的石墨舟，进行拆卸，对石墨舟和工艺卡点分别清洗；S2：配液：在清洗槽内配置浓度为7％～15％的氢氟酸溶液；S3：清洗：将石墨舟整体放入配制好的氢氟酸溶液内，浸泡时间为5‑7小时，浸泡的同时开启鼓泡；S4：抽液：待石墨舟整体浸泡5‑7小时后，将上述步骤中的氢氟酸溶液抽出。本发明可以确保每个面都能够得到有效的喷淋清洗，提高清洗效果，能够防止烘干时石墨舟表面有水滴，烘干后有残留，影响其正常使用，而且检查的步骤能够防止清理不合格的石墨舟再次投入使用，提高了清洁效果。