[发明专利]一种提高石墨舟处理效果的方法

说明书

本发明涉及石墨舟处理技术领域，且公开了一种提高石墨舟处理效果的方法，包括以下步骤：S1：拆卸：准备需要清洗的石墨舟，进行拆卸，对石墨舟和工艺卡点分别清洗；S2：配液：在清洗槽内配置浓度为7％～15％的氢氟酸溶液；S3：清洗：将石墨舟整体放入配制好的氢氟酸溶液内，浸泡时间为5‑7小时，浸泡的同时开启鼓泡；S4：抽液：待石墨舟整体浸泡5‑7小时后，将上述步骤中的氢氟酸溶液抽出。本发明可以确保每个面都能够得到有效的喷淋清洗，提高清洗效果，能够防止烘干时石墨舟表面有水滴，烘干后有残留，影响其正常使用，而且检查的步骤能够防止清理不合格的石墨舟再次投入使用，提高了清洁效果。

技术领域

本发明涉及石墨舟处理技术领域，具体为一种提高石墨舟处理效果的方法。

背景技术

随着光伏技术的不断发展，晶硅太阳能电池作为以一种将太阳能转化为电能的清洁能源产品得到了迅猛发展。随着PECVD(等离子体增强的化学气相沉积，是制作太阳能电池工序中的一道工序)技术不断发展，从原来的板式PECVD转变成了管式PECVD，它的目的是在硅片表面(扩散面)沉积一层深蓝色的SiNx膜膜。

当石墨舟运行到一定的次数后，表面沉积了很厚的氮化硅，影响舟壁与硅片的接触，从而影响镀膜的质量，导致电池片出现严重的色差问题，因此要进行石墨舟的清洗，但是目前的清洗方法一般清洗效果不够好，不能满足人们的要求。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种提高石墨舟处理效果的方法，主要为解决现有的方法对石墨舟清洗效果不够好的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种提高石墨舟处理效果的方法，包括以下步骤：

S1：拆卸：准备需要清洗的石墨舟，进行拆卸，对石墨舟和工艺卡点分别清洗；

S2：配液：在清洗槽内配置浓度为7％～15％的氢氟酸溶液；

S3：清洗：将石墨舟整体放入配制好的氢氟酸溶液内，浸泡时间为5-7小时，浸泡的同时开启鼓泡；

S4：抽液：待石墨舟整体浸泡5-7小时后，将上述步骤中的氢氟酸溶液抽出；

S5：喷淋：用去离子水对浸泡后的石墨舟整体进行喷淋，喷淋时间设置为5-15分钟；

S6：水洗鼓泡：使用去离子水对已进行喷淋的石墨舟整体进行鼓泡处理；

S7：吹扫检查：用气枪吹扫石墨舟表面，对其进行清洁，清洗结束后检查舟的表面、石墨卡点和舟片结合处、以及其它部位是否还有氮化硅的残余，如果有返回S3进行重新清洗，通过吹扫操作能够防止烘干时石墨舟表面有水滴，烘干后有残留，影响其正常使用，而且检查的步骤能够防止清理不合格的石墨舟再次投入使用，提高了清洁效果；

S8：烘干：将经过气枪吹扫后的石墨舟放入烘箱中，设定烘干温度范围为111℃-120℃，设定烘干时间范围为11-12小时。

进一步的，所述S1对工艺卡点用纯水进行洗涤1-3次，然后放入超声波反应器中用超声波进行清洗，超声波的频率为4.1-4.8KHz，且每隔30-50分钟换一次水，提高了石墨舟及工艺卡点的清洗效率，降低工艺卡点的清洗成本。

在前述方案的基础上，所述S5中喷淋时要人工对石墨舟进行翻转，确保每个面都能够得到有效的喷淋清洗。

作为本发明再进一步的方案，所述S5中喷淋时的去离子水中加入PH值为7.5-8的氨水进行辅助清洗，弱碱溶液能够中和酸洗后石墨中吸附的酸性物质，其清洗效果更好，能够更有效的除去石墨舟壁残余的酸，且不引入其他杂质，不会腐蚀舟壁与硅片。