[发明专利]一种搬运晶圆盒货架的转运设备有效
| 申请号： | 202010832077.0 | 申请日： | 2020-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN111908114B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 吴功;顾俊;李壮;姚梦 | 申请（专利权）人： | 上海大族富创得科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90;B65G47/82;B65G35/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 林凡燕 |
| 地址： | 201112 上海市闵行区万*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种搬运晶圆盒货架的转运设备，转运设备包括运输设备、置于运输设备上方的搬运设备，其中，用于搬运放置有晶圆盒货架的搬运设备包含：夹持机构、送出机构和举升机构，夹持机构置于送出机构上方，送出机构可沿第一方向带动夹持机构移动，在送出机构的两侧设置举升机构，举升机构的顶升平台可推动夹持机构内的抓取机构在第二方向升降。本发明的转运设备，在建厂前期无需一次性提前规划好产区路线，规划灵活，节省轨道铺设成本，同时，当工厂工艺设备位置的变化进行路线的变化，转运设备仍可完成仓储设备之间或仓储设备与其他设备之间的晶圆盒运送。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 搬运 晶圆盒 货架 转运 设备 | ||
【主权项】：
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