[发明专利]一种搬运晶圆盒货架的转运设备

权利要求书

1.一种搬运晶圆盒货架的转运设备，其特征在于，所述转运设备包括：

运输设备，

搬运设备，设置于所述运输设备上，用于搬运放置有晶圆盒的货架，所述搬运设备包含，

夹持机构，内设抓取机构和罩设在所述抓取机构外部的罩体，所述抓取机构的夹爪设备伸出所述罩体外并用于抓取所述货架，所述夹爪的伸出部分相对于另一所述夹爪设置一楔形块，所述楔形块和所述夹爪的伸出部分形成V形槽，以形成V形夹爪；在所述V形槽内远离所述罩体侧的侧壁上铺设有辊轮；

送出机构，置于所述夹持机构底部，所述送出机构带动所述夹持机构沿第一方向运动，将所述货架推出或拉入转运设备，且检测元件设置在所述夹持机构上；所述送出机构包括与所述夹持机构相连的推板、置于所述推板底部并在其输出轴上套设第一齿轮的第一电机、以及与所述推板相连且与所述第一齿轮啮合的第一齿条，所述第一齿条沿所述第一方向铺设；

举升机构，分别设置在所述送出机构的两侧，用于顶升所述货架，所述举升机构包括顶升机构，所述顶升机构的顶升平台由驱动设备驱动并推动所述抓取机构沿第二方向升降，所述第二方向与所述第一方向垂直设置；

且允许所述送出机构带动所述夹持机构的整体动作，在所述第一方向上移动，在所述送出机构的所述推板被推出时，利用所述检测元件来检测所述货架的背面，以此来实现抽取所述货架之前运输设备停放的偏差量的第一次补偿；

当所述运输设备出现定位偏差时，所述货架的固定块被夹取时，依据两所述夹爪的所述V形槽的形状使得所述固定块的四个方向被限定，同时，夹取过程中所述固定块为与所述夹爪相应会出现所述货架位置微调，以弥补所述运输设备的定位误差，完成对所述运输设备偏差量做第二次误差补偿。

2.根据权利要求1所述的搬运晶圆盒货架的转运设备，其特征在于：所述驱动设备包括第二电机和第二齿条，所述第二齿条沿所述第二方向铺设于所述顶升平台下方的底部杆件，所述第二电机的输出轴上套设一与所述第二齿条相啮合的第二齿轮，所述底部杆件与置于所述运输设备的安装板滑动连接。

3.根据权利要求1所述的搬运晶圆盒货架的转运设备，其特征在于：所述顶升平台的顶面安装有多个滚珠，所述滚珠在推出或拉入所述货架时与所述货架底部滚动接触。

4.根据权利要求1所述的搬运晶圆盒货架的转运设备，其特征在于：在所述推板或所述罩体上设有用于检测所述货架的检测面的检测元件。

5.根据权利要求1所述的搬运晶圆盒货架的转运设备，其特征在于：所述抓取机构包括与所述罩体滑动连接的过渡板，所述夹爪设备安装于所述过渡板，所述过渡板还设有第一连杆，所述第一连杆连接伸出所述罩体的第二连杆，伸出所述罩体的所述第二连杆的轴端置于同侧的所述顶升平台上方。

6.根据权利要求5所述的搬运晶圆盒货架的转运设备，其特征在于：所述夹爪设备包括第三电机、双螺纹丝杠和套设于所述双螺纹丝杠并螺纹连接的两夹爪，所述夹爪从所述罩体上开设的通孔向外伸出，所述第三电机通过所述双螺纹杆旋转控制两所述夹爪相对运动。

7.根据权利要求6所述的搬运晶圆盒货架的转运设备，其特征在于：在所述过渡板上还设置有与所述螺纹丝杠相平行的滑轨，所述滑轨的滑块与所述夹爪上所凸出的凸块相连。

8.根据权利要求6所述的搬运晶圆盒货架的转运设备，其特征在于：在夹取所述货架时两所述伸出部分通过V形槽将所述货架的固定块卡入其中。

9.根据权利要求1所述的搬运晶圆盒货架的转运设备，其特征在于：所述顶升机构还包括支撑板，所述支撑板的高度大于所述顶升平台的高度。