[发明专利]一种搬运晶圆盒货架的转运设备

说明书

本发明提供一种搬运晶圆盒货架的转运设备，转运设备包括运输设备、置于运输设备上方的搬运设备，其中，用于搬运放置有晶圆盒货架的搬运设备包含：夹持机构、送出机构和举升机构，夹持机构置于送出机构上方，送出机构可沿第一方向带动夹持机构移动，在送出机构的两侧设置举升机构，举升机构的顶升平台可推动夹持机构内的抓取机构在第二方向升降。本发明的转运设备，在建厂前期无需一次性提前规划好产区路线，规划灵活，节省轨道铺设成本，同时，当工厂工艺设备位置的变化进行路线的变化，转运设备仍可完成仓储设备之间或仓储设备与其他设备之间的晶圆盒运送。

技术领域

本发明属于半导体技术领域，涉及一种搬运晶圆盒货架的转运设备。

背景技术

目前在半导体行业面临着人员成本不断增加的问题，为了能够减少人力，削减成本，同时还可以提高工作效率，保证安全性。基于这个原因，工厂自动化成为企业所正在追求的。而搬运机器人在这些行业中是不可少的一个环节，目前半导体存在并运用于该行业的有人工小车搬运和OHT搬运(高空提升运输搬运系统)。人工搬运需要将所需物料放置到一个普通小车上，进行推着小车走的搬运，长期人员搬运使得员工疲劳费力，不能一直保持固定搬运能力。OHT进行单个物料搬运，就OHT本身来说轨道是单一，会存在堵车现象。OHT在前期建厂时就需要提前规划完成，对于整个工厂前期投入成本增加，由于OHT线路已经规划好，后期更改设备位置是无法完成的，无法满足日益多变的生产工艺需求。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种搬运晶圆盒货架的转运设备，用于解决现有技术中搬运系统的轨道单一，在后期设备位置更改的情况下无法进行晶圆盒的搬运的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种搬运晶圆盒货架的转运设备，所述转运设备包括：

运输设备，

搬运设备，设置于所述运输设备上，用于搬运放置有晶圆盒的货架，所述搬运设备包含，

夹持机构，内设抓取机构和罩设在所述抓取机构外部的罩体，所述抓取机构的夹爪设备伸出在所述罩体外并用于抓取所述货架，

送出机构，置于所述夹持机构底部，所述送出机构带动所述夹持机构沿第一方向运动，将所述货架推出或拉入所述转动设备，

举升机构，分别设置在所述送出机构的两侧，用于顶升所述货架，所述举升机构包括顶升机构，所述顶升机构的顶升平台由驱动设备驱动并推动所述抓取机构沿第二方向升降，所述第二方向与所述第一方向垂直设置。

于本发明一实施例中，所述驱动设备包括第二电机和第二齿条，所述第二齿沿所述第二方向铺设于所述顶升平台下方的底部杆件，所述第二电机的输出轴上套设一与所述第二齿条相啮合的第二齿轮，所述底部杆件与置于所述运输设备的安装板滑动连接。

于本发明一实施例中，所述顶升平台的顶面安装有多个滚珠，所述滚珠在推出或拉入所述货架时与所述货架底部滚动接触。

于本发明一实施例中，所述送出机构包括与所述夹持机构相连的推板、置于所述推板底部并在其输出轴上套设第一齿轮的第一电机、以及与所述推板相连且与所述第一齿轮啮合的第一齿条，所述第一齿条沿所述第一方向铺设。

于本发明一实施例中，在所述推板或所述罩体上设有用于检测所述货架的检测面的检测元件。

于本发明一实施例中，所述抓取机构包括与所述罩体滑动连接的过渡板，所述夹爪设备安装于所述过渡板，所述过渡板还设有第一连杆，所述第一连杆连接伸出所述罩体的第二连杆，伸出所述罩体的所述第二连杆的轴端置于同侧的所述顶升平台上方。

于本发明一实施例中，所述夹爪设备包括第三电机、双螺纹丝杠和套设于所述双螺纹丝杠并螺纹连接的两夹爪，所述夹爪从所述罩体上开设的通孔向外伸出，所述第三电机通过所述双螺纹杆旋转控制两所述夹爪相对运动。