[发明专利]基板缺陷检查装置及方法在审
| 申请号： | 202010806502.9 | 申请日： | 2020-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN112394071A | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 李在旻;宋德王;朴昌成 | 申请（专利权）人： | 乐人株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 魏彦 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的基板缺陷检查装置包括：移动工作台，将基板移动到检查位置；照明，为获取拍摄影像，将规定的光照射到基板；至少一个线扫描摄像机，以规定线为单位拍摄基板；至少一个区域摄像机，以规定区域为单位拍摄基板；数据库，存储用于检测基板缺陷的影像；控制部，用移动工作台来移动基板的位置，并控制照明来由线扫描摄像机获取拍摄基板的镀层部分得到的影像和拍摄阻焊层部分得到的影像，基于获取的影像，将基板的状态判定为正常、缺陷和重新检查中的一种，由此检测出初次缺陷，对判定为重新检查的基板控制照明，获取由区域摄像机拍摄基板得到的基板影像，基于获取的基板影像，将基板的状态判定为正常和缺陷中的一种，由此检测出再次缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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