[发明专利]基板缺陷检查装置及方法

权利要求书

1.一种基板缺陷检查装置，其中，包括：

移动工作台，将基板移动到检查位置；

照明，为了获取拍摄影像，将规定的光照射到基板上；

至少一个线扫描摄像机，用于以规定的线为单位拍摄所述基板；

至少一个区域摄像机，用于以规定的区域为单位拍摄所述基板；

数据库，存储用于检测所述基板的缺陷的影像；以及

控制部，利用所述移动工作台来移动所述基板的位置，并控制所述照明来由所述线扫描摄像机获取拍摄所述基板的镀层部分得到的影像和拍摄阻焊层部分得到的影像，基于所获取的所述影像，将所述基板的状态判定为正常、缺陷和重新检查中的一种，由此检测出初次缺陷，然后针对判定为重新检查的所述基板控制所述照明，来获取由区域摄像机拍摄所述基板得到的基板影像，基于所获取的基板影像，将所述基板的状态判定为正常和缺陷中的一种，由此检测出再次缺陷。

2.根据权利要求1所述的基板缺陷检查装置，其中，

还包括至少一个调整摄像机，所述至少一个调整摄像机位于距所述线扫描摄像机和所述区域摄像机规定距离内的位置，拍摄用于调整位置的所述基板的影像，

所述控制部利用由所述调整摄像机获取的影像，调整所述线扫描摄像机、所述区域摄像机、所述基板中至少一个的位置。

3.根据权利要求1所述的基板缺陷检查装置，其中，

所述控制部，为了检查所述初次缺陷和所述再次缺陷，使用存储在所述数据库的通过深度学习得到的缺陷影像数据。

4.根据权利要求3所述的基板缺陷检查装置，其中，

所述控制部，当检测出所述初次缺陷或检测出再次缺陷时，使用判定为缺陷的基板的影像来学习所述缺陷影像数据。

5.根据权利要求1所述的基板缺陷检查装置，其中，

所述控制部，针对判定为重新检查的所述基板分多次控制所述照明，获取由所述区域摄像机分多次拍摄所述基板得到的基板影像。

6.一种基板缺陷检查方法，由基板缺陷检查装置执行，其中，包括：

通过控制用于将光照射到基板的照明，获取由线扫描摄像机拍摄基板的镀层部分得到的影像和拍摄阻焊层部分得到的影像的步骤；

基于所获取的影像，将所述基板的状态判定为正常、缺陷和重新检查中的一种，由此检测出初次缺陷的步骤；

通过针对判定为重新检查的基板控制照明，获取由区域摄像机拍摄基板得到的基板影像的步骤；

基于所获取的基板影像，将所述基板的状态判定为正常和缺陷中的一种，由此检测出再次缺陷的步骤。

7.根据权利要求6所述的基板缺陷检查方法，其中，

获取由所述线扫描摄像机拍摄基板得到的镀层部分的影像和拍摄阻焊层部分得到的影像的步骤包括：

拍摄得到用于调整位置的所述基板的影像，并利用所拍摄的所述影像，调整所述线扫描摄像机和所述基板中至少一个的位置的步骤。

8.根据权利要求6所述的基板缺陷检查方法，其中，

所述获取由区域摄像机拍摄基板得到的基板影像的步骤包括：

拍摄得到用于调整位置的所述基板的影像，并利用所拍摄的所述影像，调整所述区域摄像机和所述基板中至少一个的位置的步骤。

9.根据权利要求6所述的基板缺陷检查方法，其中，

在所述检测出初次缺陷的步骤和所述检测出再次缺陷的步骤中，

使用存储在数据库的通过深度学习得到的缺陷影像数据。

10.根据权利要求9所述的基板缺陷检查方法，其中，

在所述检测出初次缺陷和所述检测出再次缺陷的步骤之后，还包括：

使用判定为缺陷的所述基板的影像来学习所述缺陷影像数据的步骤。