[发明专利]基板缺陷检查装置及方法

说明书

本发明的基板缺陷检查装置包括：移动工作台，将基板移动到检查位置；照明，为获取拍摄影像，将规定的光照射到基板；至少一个线扫描摄像机，以规定线为单位拍摄基板；至少一个区域摄像机，以规定区域为单位拍摄基板；数据库，存储用于检测基板缺陷的影像；控制部，用移动工作台来移动基板的位置，并控制照明来由线扫描摄像机获取拍摄基板的镀层部分得到的影像和拍摄阻焊层部分得到的影像，基于获取的影像，将基板的状态判定为正常、缺陷和重新检查中的一种，由此检测出初次缺陷，对判定为重新检查的基板控制照明，获取由区域摄像机拍摄基板得到的基板影像，基于获取的基板影像，将基板的状态判定为正常和缺陷中的一种，由此检测出再次缺陷。

技术领域

本说明书中公开的实施例涉及一种用于检查基板的缺陷的装置及方法。更详细而言，涉及一种不需要再次确认如印刷电路基板等基板的缺陷的基板缺陷检查装置及方法。

背景技术

由于可能会发生各种类型的缺陷，为了出厂需要而对如印刷电路基板(PCB：Printed Circuit Board)等产品实施各种类型的检查。如在与此相关的现有技术文献韩国公开特许第10-2005-0103525号中，记载了一种PCB检查筛选装置，用于在PCB出厂之前，能够在防止形成在下表面的电路图案与探针之间的过度接触的基础上进行检查。

为了检查印刷电路基板，除了如现有技术文献中那样的电性检查之外，还执行规则(rule base)检查。这样的规则检查，是检查人员直接将预定的规则适用在印刷电路基板来执行检查的检查。

由于这样的规则检查是按检查人员决定的规则检查，因此即使是异物或污染而不是缺陷的情况下，也将其检测为缺陷，并且为了提高检测出缺陷的概率而将规则设定得过严，所以将正常规格的误差也识别为缺陷。因此，存在这样的问题：为了防止发生这样的情况，还需要另外使用其他设备来检查PCB，识别PCB的状态是合格还是不合格。

另外，还存在这样的问题：由于不可能每个检查PCB的操作者都维持恒定水平的检查标准，因此会发生情绪性误差等，使得产品检查结果的一致性降低，从而使制造PCB的成品率降低。

因此，需要一种用于解决上述问题的技术。

一方面，上述的背景技术是发明人为了得出本发明而持有的技术信息或在得出本发明的过程中获得的技术信息，而并不是在申请本发明之前已向公众公开的公知技术。

发明内容

在本说明书中公开的各实施例的目的在于，提供一种将由操作者的检查过程实现自动化的基板缺陷检查装置及方法。

在本说明书中公开的各实施例的目的在于，提供一种不会根据检查人员而需要额外的设备或额外检查的基板缺陷检查装置及方法。

在本说明书中公开的各实施例的目的在于，提供一种能够维持基板检查结果的一致性的基板缺陷检查装置及方法。

在本说明书中公开的各实施例的目的在于，提供一种通过基板检查的自动化来提高产品的成品率的基板缺陷检查装置及方法。

作为用于解决所述技术课题的技术手段，根据一实施例，基板缺陷检查装置包括：移动工作台，将基板移动到检查位置；照明，为了获取拍摄影像，将规定的光照射到基板上；至少一个线扫描摄像机，用于以规定的线为单位拍摄所述基板；至少一个区域摄像机，用于以规定的区域为单位拍摄所述基板；数据库，存储用于检测所述基板的缺陷的影像；以及控制部，利用所述移动工作台来移动所述基板的位置，并控制所述照明来由所述线扫描摄像机获取拍摄所述基板的镀层部分得到的影像和拍摄阻焊层部分得到的影像，基于所获取的所述影像，将所述基板的状态判定为正常、缺陷和重新检查中的一种，由此检测出初次缺陷，然后针对判定为重新检查的所述基板控制所述照明，来获取由区域摄像机拍摄所述基板得到的基板影像，基于所获取的基板影像，将所述基板的状态判定为正常和缺陷中的一种，由此检测出再次缺陷。