[发明专利]层叠基板的制造方法及层叠基板的制造装置在审
| 申请号： | 202010805173.6 | 申请日： | 2020-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN112551876A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 佐川雅彦;池田刚史;井上修一 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/023 | 分类号： | C03B33/023;B28D1/22 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;敖莲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种层叠基板的制造方法，其有助于提高层叠基板的品质。该层叠基板的制造方法从包含第一基板和第二基板的母基板(1)制造层叠基板，该层叠基板的制造方法包含第一工序，在该第一工序中，对于以在深度方向上局部地切断第一基板的方式形成有划线痕的母基板，加热第二基板上没有形成划线痕的部分。 | ||
| 搜索关键词： | 层叠 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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