[发明专利]一种多轴联动型高效率多工位晶圆贴合机

摘要

本发明公开了一种多轴联动型高效率多工位晶圆贴合机，包括底座，所述底座的内腔固定连接有微型压缸，所述微型压缸的内腔固定连接有升降杆A，所述升降杆A的顶部固定连接有支撑杆，所述支撑杆的顶部固定连接有晶圆盘，所述晶圆盘内腔的底部固定连接有加热盘，所述晶圆盘的内壁固定连接有调节卡，所述调节卡外壁的中部固定连接有螺纹杆，所述横轴的外圈套装有压缸，所述升降杆B的底部固定连接有上压盖，所述底座顶部对应子母栓的位置开设有卡节槽，可以根据晶圆片的半径来调整螺纹杆，从而达到固定晶圆片的效果，通过触摸屏可以控制感应器来调节晶圆盘的高度，通过调整晶圆盘的高度可以调整晶粒之间的间距，从而可以提高贴合的精准度。