[发明专利]探针装置和探针卡的预冷却方法在审
| 申请号： | 202010781653.3 | 申请日： | 2020-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN112394207A | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 藤原润 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;刘芃茜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供探针装置和探针卡的预冷却方法。是具有多个检查室的探针装置，多个检查室各自包括探针卡、探针卡保持部件、卡盘顶部、密封机构、温度调节部和供给部。探针卡具有多个探针。探针卡保持部件保持探针卡。卡盘顶部能够载置晶片。密封机构在探针卡保持部件与卡盘顶部之间形成密闭空间。温度调节部对卡盘顶部进行温度调节。供给部对密闭空间供给干燥气体。探针装置在卡盘顶部没有载置晶片的状态下，用干燥空气对密闭空间进行了吹扫后，利用由温度调节部进行了温度调节的卡盘顶部的冷量，进行探针卡的预冷却。本发明能够抑制发生结露并且进行探针卡的预冷却。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 装置 预冷 方法 | ||
【主权项】：
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