[发明专利]光罩收容装置有效
申请号: | 202010781434.5 | 申请日: | 2020-08-06 |
公开(公告)号: | CN112389846B | 公开(公告)日: | 2022-08-26 |
发明(设计)人: | 庄家和;温星闵;薛新民;李怡萱;邱铭乾 | 申请(专利权)人: | 家登精密工业股份有限公司 |
主分类号: | B65D43/06 | 分类号: | B65D43/06;B65D43/08;B65D51/16 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 姜璐璐;赵燕力 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种光罩收容装置包含:一上盖,具有一顶部和一覆盖部,该覆盖部围绕该顶部;及一下盖,具有一承载部和一周围结构,该周围结构围绕该承载部。该上盖与该下盖结合时,其间定义一通道使装置的一光罩容置空间未封闭。 | ||
搜索关键词: | 收容 装置 | ||
【主权项】:
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