[发明专利]光罩收容装置

权利要求书

1.一种光罩收容装置，包含：

一上盖，具有一顶部和一覆盖部，该覆盖部围绕该顶部；

一下盖，具有一承载部和一周围结构，该周围结构围绕该承载部；及

多个支撑柱，将该上盖抬升于该下盖上方，

其特征在于，当该上盖与该下盖结合时，该承载部与该上盖的顶部和覆盖部定义一光罩容置空间，该上盖的覆盖部面对该下盖的周围结构，该上盖的覆盖部的至少一部分与该下盖的周围结构的至少一部分借由多个该支撑柱而定义一通道，该通道使该光罩容置空间未封闭，

其中，多个该支撑柱自该覆盖部向下延伸，该下盖的周围结构具有对应多个该支撑柱的多个容置凹部，多个该容置凹部自该周围结构向下延伸，各容置凹部配置成部分地容置对应的支撑柱，使该上盖的覆盖部被举升于该下盖的周围结构的上方。

2.如权利要求1所述的光罩收容装置，其特征在于，该通道至少由两个不同方向的延伸结构所组成，所述两个不同方向的延伸结构是由形成于该覆盖部的一第一凹部与形成于该周围结构的一第一凸部所定义，该第一凹部与该第一凸部结构对应。

3.如权利要求2所述的光罩收容装置，其特征在于，该通道至少由两个不同方向的延伸结构所组成，所述两个不同方向的延伸结构还是由形成于该覆盖部的一第二凸部与形成于该周围结构的一第二凹部所定义，该第二凸部与该第二凹部结构对应。

4.如权利要求3所述的光罩收容装置，其特征在于，该第一凹部围绕该第二凸部，而该第一凸部围绕该第二凹部。

5.如权利要求1所述的光罩收容装置，其特征在于，该通道至少由一第一横向延伸结构、一第二横向延伸结构及一纵向延伸结构所组成，该纵向延伸结构介于该第一横向延伸结构及该第二横向延伸结构之间，该第一横向延伸结构及该第二横向延伸结构分别位于不同水平高度。

6.如权利要求1所述的光罩收容装置，其特征在于，该下盖的周围结构与该承载部之间定义一沟槽，该沟槽介于该通道与该光罩容置空间之间。

7.一种光罩收容装置，包含：

一上盖，具有一顶部和一覆盖部，该覆盖部围绕该顶部；及

一下盖，具有一承载部和一周围结构，该周围结构围绕该承载部，

其特征在于，当该上盖与该下盖结合时，该承载部与该上盖的顶部和覆盖部定义一光罩容置空间，该上盖的覆盖部面对该下盖的周围结构，该上盖的覆盖部的至少一部分与该下盖的周围结构的至少一部分定义一通道，该通道使该光罩容置空间未封闭，该通道由多个延伸结构所组成，该通道具有一第一转折点及一第二转折点，该第一转折点和该第二转折点改变气流方向，

其中，多个支撑柱自该覆盖部向下延伸，该下盖的周围结构具有对应多个该支撑柱的多个容置凹部，多个该容置凹部自该周围结构向下延伸，各容置凹部配置成部分地容置对应的支撑柱，使该上盖的覆盖部被举升于该下盖的周围结构的上方。

8.如权利要求7所述的光罩收容装置，其特征在于，该通道还具有一入口，该第一转折点所在的水平高度高于该入口的水平高度，该第二转折点的水平高度低于该入口的水平高度。

9.如权利要求7所述的光罩收容装置，其特征在于，该下盖的周围结构与该承载部之间定义一沟槽，该沟槽介于该通道与该光罩容置空间之间。